潔凈度級別為6~9級的潔凈室則采用非單向流的氣流組織。流速控制潔凈室內(nèi)空氣的流動要有一定速度，才能防止其他因素(如熱流)的擾亂。無塵車間的主要作用在于為產(chǎn)品生產(chǎn)(如硅芯片等)和服務(wù)提供所需環(huán)境的潔凈程度，以及溫濕度、微震動、噪聲、照度等各項指標(biāo)。不同的氣流組織直接影響施工的難易程度及工程造價。一般潔凈度級別高于5級的潔凈室均采用單向流，其中以垂直單向流，但造價也。

 純水、特氣、物料供應(yīng)系統(tǒng)；廢氣、廢水處理系統(tǒng)及相關(guān)設(shè)施。運(yùn)行管理包括：實時檢測，人員培訓(xùn)，設(shè)備維護(hù)，以保證受控的生產(chǎn)科研環(huán)境持續(xù)符合要求?？諝鈨艋环矫媸撬腿霛崈艨諝鈱κ覂?nèi)污染空氣進(jìn)行稀釋，另一方面是迅速排出室內(nèi)濃度高的污染空氣。這些污染物很容易就會對無塵車間的衛(wèi)生造成影響。在進(jìn)入無塵車間的時候，應(yīng)該要先進(jìn)行風(fēng)淋。在工作的時候，包括胡須在內(nèi)的所有毛發(fā)，都應(yīng)該使用毛發(fā)護(hù)具來全部地遮蓋住。

 純水、特氣、物料供應(yīng)系統(tǒng)；廢氣、廢水處理系統(tǒng)及相關(guān)設(shè)施。運(yùn)行管理包括：實時檢測，人員培訓(xùn)，設(shè)備維護(hù)，以保證受控的生產(chǎn)科研環(huán)境持續(xù)符合要求。凈化工程的施工又區(qū)別于一般的建筑工程，包括圍護(hù)結(jié)構(gòu)(俗稱“房中房”)；空調(diào)凈化系統(tǒng)；供電、自控、弱電系統(tǒng)。使相關(guān)產(chǎn)品和服務(wù)能夠在一個滿足要求的、受控的、良好的環(huán)境空間中進(jìn)行生產(chǎn)和操作，從而達(dá)到提高產(chǎn)品生產(chǎn)的良品率，改善和提升相關(guān)服務(wù)質(zhì)量的目標(biāo)。