嵌入可動(dòng)電極的微慣性傳感器的設(shè)計(jì)

MEMS電容式微慣性傳感器因其具有尺寸小、靈敏度高、穩(wěn)定性好、溫度漂移小、功耗低、很好的工作在力平衡模式下等等優(yōu)點(diǎn)，在軍事、汽車工業(yè)、生物醫(yī)學(xué)、消費(fèi)電子、慣性導(dǎo)航等領(lǐng)域得到廣泛的應(yīng)用。 本首先分析了電容式微慣性傳感器的測(cè)量控制原理和系統(tǒng)動(dòng)態(tài)模型，并在此基礎(chǔ)上通過三個(gè)方面設(shè)計(jì)出新型嵌入橫向可動(dòng)電極的微慣性傳感器，分別是：支撐梁結(jié)構(gòu)、微執(zhí)行器結(jié)構(gòu)和檢測(cè)電容結(jié)構(gòu)。通過分別對(duì)以上三方面不同結(jié)構(gòu)模型的分析對(duì)比，在傳感器設(shè)計(jì)中選用U形梁結(jié)構(gòu)作為傳感器的支撐梁，電磁執(zhí)行器作為驅(qū)動(dòng)力，梳柵結(jié)構(gòu)作為檢測(cè)電容結(jié)構(gòu)。今后可通過熱壓印等技術(shù)減小TMR—超導(dǎo)磁放大器間距，從而提高器件的靈敏度。

其中為了克服深反應(yīng)離子刻蝕關(guān)于深寬比不能做大的限制和降低噪聲，詳細(xì)介紹了電磁驅(qū)動(dòng)增大傳感器初始檢測(cè)電容的工作原理，通過嵌入可動(dòng)電極和電磁驅(qū)動(dòng)作用減小電容間隙，結(jié)果表明，電磁驅(qū)動(dòng)使得傳感器的電容間隙減小4μm，初始檢測(cè)電容由1.28pf增大到6.4pf。 根據(jù)以上理論分析和參數(shù)設(shè)計(jì)，給出了新型電容式微慣性傳感器的整體結(jié)構(gòu)模型，并利用有限元軟件Ansys進(jìn)行。結(jié)果表明所設(shè)計(jì)的傳感器在非敏感方向上梁的剛度較大，軸向交叉效應(yīng)得到了有效抑制；傳感器的靜態(tài)位移靈敏度為0.659μm/g，施加電磁驅(qū)動(dòng)前后的電容靈敏度分別為0.15pf/g和0.192pf/g，增大為原來的1.28倍；溫度傳感器集成電路是一種完全基于半導(dǎo)體硅的溫度檢測(cè)新技術(shù),能夠?qū)崿F(xiàn)擴(kuò)展測(cè)溫范圍、進(jìn)行遠(yuǎn)程溫度監(jiān)測(cè)。同時(shí)應(yīng)力分析結(jié)果表明，傳感器能夠抵擋1000g的加速度信號(hào)的沖擊而不被損壞。之后利用電磁分析軟件ANSOFT-Maxwell分析了邊緣效應(yīng)對(duì)傳感器性能的影響，表明小尺寸的傳感器電容的邊緣效應(yīng)不可忽略。

電子元器件種類

1.原裝貨：具備原廠原包裝的產(chǎn)品，原廠生產(chǎn)出來的，如果是從廠家訂的，就不用擔(dān)心了。如果是從代理或者分銷商訂購(gòu)還是需要注意一下。

2.散新貨：散新這個(gè)詞，主要用在IC芯片的方面，

3.翻新貨：指產(chǎn)品從原廠生產(chǎn)出來以后，經(jīng)過使用，有了一定的磨損，性能各方面跟原廠剛生產(chǎn)出來的時(shí)候有差距，經(jīng)過特殊的加工，是它的外表或者性能恢復(fù)到接近原廠剛生產(chǎn)出來的狀態(tài)，叫做翻新！

4.舊貨拆機(jī)件：原廠生產(chǎn)出來的，已經(jīng)使用過的，從電路板上拆下來的。沒有經(jīng)過洗角處理的?！?

瑞泰威驅(qū)動(dòng)IC廠家，是國(guó)內(nèi)IC電子元器件的代理銷售企業(yè)，專業(yè)從事各類驅(qū)動(dòng)IC、存儲(chǔ)IC、傳感器IC、觸摸IC銷售，品類齊全，具備上百個(gè)型號(hào)產(chǎn)品原裝zheng品。

什么是圖像傳感器

圖像傳感器，或稱感光元件，是一種將光學(xué)圖像轉(zhuǎn)換成電子信號(hào)的設(shè)備，它被普遍地應(yīng)用在數(shù)碼相機(jī)和其他電子光學(xué)設(shè)備中。早期的圖像傳感器采用模仿信號(hào)，如攝像管（video camera tube）。隨著數(shù)碼技術(shù)、半導(dǎo)體制造技術(shù)以及網(wǎng)絡(luò)的疾速開展，市場(chǎng)和業(yè)界都面臨著逾越各平臺(tái)的視訊、影音、通訊大整合時(shí)期的到來，勾劃著將來人類的日常生活的美景。電感式接近傳感器的工作原理：電感式接近傳感器由高頻振蕩、檢波、放大、觸發(fā)及輸出電路等組成。

以其在日常生活中的應(yīng)用，無疑要屬數(shù)碼相機(jī)產(chǎn)品，其開展速度能夠用一日千里來形容。短短的幾年，數(shù)碼相機(jī)就由幾十萬像素，開展到400、500萬像素以至更高。不只在興旺的歐美國(guó)度，數(shù)碼相機(jī)曾經(jīng)占有很大的市場(chǎng)，就是在開展中的中國(guó)，數(shù)碼相機(jī)的市場(chǎng)也在以驚人的速度在增長(zhǎng)，因而，其關(guān)鍵零部件——圖像傳感器產(chǎn)品就成為當(dāng)前以及將來業(yè)界關(guān)注的對(duì)象，吸收著眾多廠商投入。以產(chǎn)品類別辨別，圖像傳感器產(chǎn)品主要分為CCD、CMOS以及CIS傳感器三種。和傳統(tǒng)探卡的組裝方法相比,MEMS技術(shù)顯然更適應(yīng)當(dāng)今的IC技術(shù)。