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發(fā)布時(shí)間:2020-11-02 10:03  






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游星輪廠家與您分享

粗磨工段要求處理后的藍(lán)寶石襯底的總厚度偏差(TTV-Total Thickness Variation)、劃傷率和表面粗糙度(Ra)盡量小,才能為后續(xù)精磨工段提供均勻平整的處理面,減小磨拋加工時(shí)間。

因此,從提升藍(lán)寶石片粗磨良率的角度看,應(yīng)該盡量使用粒徑較小的高硬度研磨砂做為磨料,獲得較小的Ra值和劃傷率,以及對(duì)應(yīng)較小的TTV。

浙江游星電子科技有限公司將為您提供的產(chǎn)品和專業(yè)化的服務(wù)。

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       作為半導(dǎo)體芯片基礎(chǔ)材料的單品硅片和藍(lán)寶石襯底片,上個(gè)世紀(jì)九十年代由于研拋階段加工用研磨盤、游星輪等產(chǎn)品完全依賴日本、美國(guó)、德圍等國(guó)家進(jìn)口,極大地限制了我們半導(dǎo)體事業(yè)的快速發(fā)展。因此,從提升藍(lán)寶石片粗磨良率的角度看,應(yīng)該盡量使用粒徑較小的高硬度研磨砂做為磨料,獲得較小的Ra值和劃傷率,以及對(duì)應(yīng)較小的TTV。游星牌”系列產(chǎn)品為我國(guó)精密研磨拋光行業(yè),專用設(shè)備附件取代進(jìn)口同類產(chǎn)品開除了先河,有力地促進(jìn)了我圈電子信您行業(yè)的高速發(fā)展。公司乘承“走科技效益道路,創(chuàng)用戶滿意品牌”的指導(dǎo)方針,為行業(yè)提供的產(chǎn)品和專業(yè)化的服務(wù)。

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平面拋光機(jī)鏡面加工技術(shù)是一門新興的綜合性加工技術(shù),它集成了現(xiàn)代機(jī)械、光學(xué)、電子計(jì)算機(jī)、測(cè)量及材料等先進(jìn)技術(shù)成就,已成為國(guó)家科學(xué)技術(shù)發(fā)展水平的重要標(biāo)志。

隨著各種新型功能陶瓷材料的不斷研制成功,以及這些材料在各種電子元器件、光學(xué)、信息系統(tǒng)等領(lǐng)域的廣泛應(yīng)用,要求元件和零件的加工精度越來越高,有的甚至要求達(dá)到納米級(jí)或更高的加工精度以及無損傷的表面加工質(zhì)量。隨著各種新型功能的陶瓷材料的不斷研發(fā),對(duì)陶瓷的高精密、超精密加工就要求越來越高。 對(duì)于拋光來說,主要是在維持研磨所取得良好的平面度前提下,去除工件表面微小的凸起和表面損傷層,以獲得鏡面光度。所以要求均與、無方向性地拋光整個(gè)工件表面。



4.拋光盤所用材料要有一定的耐熱性。

為什么要具備耐熱性呢?毫無疑問,摩擦生熱這是大家都知道的物理原理,如果盤不耐熱,那么在研磨一定時(shí)間段后,盤的溫度達(dá)到某個(gè)值就會(huì)自動(dòng)斷裂,或者將工件毀掉。雖然我們?cè)谄矫鎾伖鈾C(jī)上會(huì)有冷卻裝置,但是自身耐熱性能好的材料也更適合做拋光盤。






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