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Parylene的熱分解起源于苯環(huán)兩側(cè)的C-C鍵,通過(guò)將二上的H原子替換為F原子,就得到HT型Parylene,目前還未商品化,但HT型所擁有的大于420的使用溫度和的介電常數(shù),使其在航空及半導(dǎo)體領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景尖銳的棱邊,裂縫里和內(nèi)表面。
Parylene采用了一種獨(dú)特的化學(xué)氣相沉積工藝(CVD)。CVD工藝早應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)的外延生長(zhǎng),整個(gè)過(guò)程是氣態(tài)反應(yīng),又在真空條件下進(jìn)行,因而可以獲得非常均勻的涂層,達(dá)到其它方法難以實(shí)現(xiàn)的同形性。
Parylene是一種化學(xué)惰性好又具有良好生物相容性的高純涂層材料, 美國(guó)FDA認(rèn)可,用于各類體內(nèi)植入,經(jīng)它涂敷的器件可改善表面潤(rùn)滑性、生物相容性,提高可靠性。不需要經(jīng)升溫固化過(guò)程,室溫下成膜,不需要催化劑,因此生物傳感器、骨釘、骨板、心臟起搏器等植入性器件經(jīng)Parylene 涂敷可改善生物相容性,提高在生物環(huán)境中工作的可靠性。導(dǎo)尿管經(jīng)Parylene涂敷后可提高潤(rùn)滑性。
生物:Parylene以其良好的耐腐蝕、抗細(xì)菌、 低阻滯性、低摩擦系數(shù)、防銹、、耐溶劑制作及生物相容性,在國(guó)際臨床運(yùn)用的生物的表面涂層上,將逐步取代TiNi合金涂層而被列為首要選擇的材料。
1、光學(xué)特性:Parylene在可見(jiàn)光的范圍內(nèi)吸收得很少,因此是透明無(wú)色的。無(wú)色透明的薄膜可用于光學(xué)器件、可擦性光電儲(chǔ)存器件和靜電復(fù)印器件。在低于280微米時(shí),Parylene N 和Parylene C 的吸收都很強(qiáng)。
2、性和氣候變化抵抗能力:在真空中,Parylene N,C和D薄膜表現(xiàn)出很高的抵抗伽瑪射線衰變的能力。張力和電氣性能在1.6Mr/h的劑量率下加到100Mr之后仍舊保持不變。雖然Parylene在室內(nèi)穩(wěn)定,但建議不要在室外陽(yáng)光直接照射的環(huán)境下長(zhǎng)期使用。