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無塵室主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為無塵室。
每立方米將大于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下,就達到了國際無塵標準的A。應用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴格控制在每立方米1000個以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。所謂無塵并非100%沒有一點灰塵,而是控制在一個非常微量的單位上。
無塵車間地址的選擇應符合有利生產(chǎn)、方便生活、節(jié)省投資和經(jīng)營費用的原則。廠址應設在自然環(huán)境和水質較好,大氣含塵濃度較低,地形、地物、地貌造成的小氣候有利于生產(chǎn)、節(jié)能的區(qū)域,應遠離大量散發(fā)粉塵、煙霧、有害氣體和微生物的區(qū)域,如機場、鐵路、碼頭、交通要道等,并在污染源和全年主導風向的上風側面,且有一定的防護距離。無塵車間與交通主干道間距宜50米以上。按照國際慣例,無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數(shù)量來規(guī)定。
無塵室內(nèi)防止微粒子污染的基本原則:
不攜入
在無塵室內(nèi)不攜入微粒子的方法有:
作業(yè)員進入無塵室前,機臺、零件攜入前應進行清潔處理;
進入無塵室者在更衣室要穿著不發(fā)塵、不產(chǎn)生靜電的具特殊導電性纖維材質的無塵服、帽、鞋、手套、口罩等。
通過風淋室時利用高速干凈空氣除去附在衣服表面的粒子后,才能進入無塵室。
機器及材料帶進無塵室前,應盡可能在密封狀態(tài)下帶進無塵室前室保養(yǎng)后用超純水擦拭,經(jīng)風淋室吹淋后才進入無塵室。
無塵室中須全程穿戴密閉式安全帽及佩戴附有filter的排氣用小型fan于腰間。
蘇州卓宇泰公司是一家主營設備搬遷、精準定位、無塵車間、設備安裝,設備包裝,大型廠房搬遷等業(yè)務。
每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下,就達到了國際無塵標準的A。目前應用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴格控制在每立方米1000個以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。無塵室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設計之房間。