流量控制器的控制響應(yīng)速度

物理時(shí)間常數(shù)

物理時(shí)間常數(shù)用希臘字母Tau來(lái)表示，是現(xiàn)今為數(shù)不多的用來(lái)描述響應(yīng)時(shí)間的標(biāo)準(zhǔn)之一，即：控制器到達(dá)設(shè)定值某個(gè)百分比所需要的時(shí)間，被定義為1-1/e， 其中e是作為自然對(duì)數(shù)底數(shù)的無(wú)理數(shù)，其值為2.72，所以1-1/e即為設(shè)定值的63.2%。雖然該定義是一個(gè)物理標(biāo)準(zhǔn)，可能說(shuō)明不了什么問(wèn)題，因?yàn)橛嘞碌脑O(shè)定值的36.8%所花費(fèi)的時(shí)間可能多于或少于之前的63.2%。從下面示波器截圖中可以看到：ALICAT?怕使用潮濕的腐蝕性氣體,潮濕的腐蝕性氣體會(huì)使不銹鋼生銹,造成MFC通道損壞,因此要求在使用腐蝕性氣體前,要對(duì)氣體和MFC管路系統(tǒng)進(jìn)行干燥處理。質(zhì)量流量控制器僅用了7.4毫秒便到達(dá)了設(shè)定值的63.2%。

任意設(shè)定值百分比變化區(qū)域

不少質(zhì)量流量控制器的技術(shù)參數(shù)采用設(shè)定值某一百分比區(qū)間內(nèi)的變化來(lái)定義設(shè)備響應(yīng)速度，比如：從設(shè)定值的10%到達(dá)90%所需要的時(shí)間。由于和后的 10%控制響應(yīng)曲線(xiàn)變化，由此而得出的控制響應(yīng)速度可能無(wú)法與實(shí)際的控制性能等同。如下圖所示，ALICAT?在被測(cè)流體處于壓力、溫度等參數(shù)變化很大的條件下，若僅測(cè)量體積流量，則會(huì)因?yàn)榱黧w密度的變化帶來(lái)很大的測(cè)量誤差。質(zhì)量流量控制器用了11.4毫秒到達(dá)設(shè)定值， 從示波器波形圖中可以清晰地觀察到：50%那段跨度，低于10%和高于90%那兩段的跨度則小了很多。就該圖而言，如果按照從設(shè)定值10%到達(dá)90%所用的時(shí)間來(lái)定義設(shè)備響應(yīng)速度的話(huà)，那么結(jié)論是6~7毫秒。

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流量控制器

質(zhì)量流量計(jì) / 質(zhì)量流量控制器的主要優(yōu)點(diǎn)是什么？

測(cè)量控制的自動(dòng)化

質(zhì)量流量計(jì) / 質(zhì)量流量控制器可以將流量測(cè)量值以輸出標(biāo)準(zhǔn)電信號(hào)輸出。這樣很容易實(shí)現(xiàn)對(duì)流量的數(shù)字顯示﹑累積流量自動(dòng)計(jì)量﹑數(shù)據(jù)自動(dòng)記錄﹑計(jì)算機(jī)管理等。對(duì)質(zhì)量流量控制器而言，還可以實(shí)現(xiàn)流量的自動(dòng)控制。通常, 模擬的MFC/MFM輸入輸出信號(hào)為0~ 5V或4~20mA, 數(shù)字式MFC/MFM還配有RS232或RS485數(shù)字串行通訊口, 能非常方便地與計(jì)算機(jī)連接, 進(jìn)行自動(dòng)控制。通常,模擬的MFC/MFM輸入輸出信號(hào)為0~ 5V或4~20mA,數(shù)字式MFC/MFM還配有RS232或RS485數(shù)字串行通訊口,能非常方便地與計(jì)算機(jī)連接,進(jìn)行自動(dòng)控制。

質(zhì)量流量計(jì) / 質(zhì)量流量控制器的優(yōu)點(diǎn)

流量的測(cè)量和控制不因溫度或壓力的波動(dòng)而失準(zhǔn)。

對(duì)于多數(shù)流量測(cè)控系統(tǒng)而言，很難避免系統(tǒng)的壓力波動(dòng)及環(huán)境和介質(zhì)的溫度變化。對(duì)于普通的流量計(jì)，壓力及溫度的波動(dòng)將導(dǎo)致較大的誤差；對(duì)于質(zhì)量流量計(jì) / 質(zhì)量流量控制器，則一般可以忽略不計(jì)。

準(zhǔn)確地定量控制流量

質(zhì)量流量控制器可以準(zhǔn)確地控制氣體的給定量，這對(duì)很多工藝過(guò)程的流量控制﹑對(duì)于不同氣體的比例控制等特別有用。

怎樣進(jìn)行不同氣體的質(zhì)量流量換算？

產(chǎn)品出廠一般是按氮?dú)鈽?biāo)定﹑按氮?dú)饬髁看_定流量規(guī)格。用同一規(guī)格的MFM/MFC測(cè)量不同的氣體，當(dāng)流量檢測(cè)值相同時(shí)，實(shí)際的流量值可能不同。我們?cè)谡f(shuō)明書(shū)中給出了不同氣體相對(duì)于標(biāo)定氣體（氮?dú)猓┑馁|(zhì)量流量轉(zhuǎn)換系數(shù)。

如果您使用的產(chǎn)品是標(biāo)準(zhǔn)出廠產(chǎn)品（按氮?dú)鈽?biāo)定顯示），而需要知道實(shí)際使用氣體的質(zhì)量流量時(shí)，先在產(chǎn)品說(shuō)明書(shū)中找到實(shí)際使用氣體的轉(zhuǎn)換系數(shù)。在測(cè)量過(guò)程中，以此系數(shù)乘以流量顯示值即是實(shí)際使用氣體的質(zhì)量流量；一、壓力狀況在加氣機(jī)中使用的質(zhì)量流量控制器測(cè)量的氣體的壓力不低于20MPa，壓力遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于大氣壓。反之，在確定所購(gòu)產(chǎn)品的量程時(shí)，以實(shí)際使用氣體的期望流量值除以轉(zhuǎn)換系數(shù)，即是相應(yīng)的氮?dú)鈽?biāo)定產(chǎn)品的流量值。

空氣、O2﹑H2﹑CO﹑HCL、HF等氣體，其轉(zhuǎn)換系數(shù)約為1.0 , 一般可直接用按氮?dú)鈽?biāo)定顯示的產(chǎn)品，不必?fù)Q算。