低溫泵分為注入式液氦低溫泵和閉路循環(huán)氣氦制冷機(jī)低溫泵兩種。注入式液氦低溫泵主要由液氦容器、泵體和連接擋板的液氮腔體等部分組成。為了減少液氦消耗，液氦容器的外壁采用雙層保溫壁并在其間抽成真空。當(dāng)泵被預(yù)抽到10-6帕壓力時(shí)灌入液氮和液氦，氣體凝結(jié)在4.2K的工作冷板上。經(jīng)預(yù)抽使氦氫分壓到10-12帕數(shù)量級，故泵可獲得10-11帕以下的極限壓力。如果把液氦容器抽真空減壓到6650帕，液氦溫度可降到2.3K，則可得到更低的極限壓力。

低溫液體泵的故障原因泵的揚(yáng)程或流量不足。⑴電機(jī)轉(zhuǎn)速不足。⑵葉輪或管道淤塞。⑶由于密封氣壓過大，有過量的氣進(jìn)入泵內(nèi)。排除方法⑴增加轉(zhuǎn)速。⑵清洗。⑶調(diào)節(jié)密封氣壓力。吸附材料在低溫下比無吸附材料的泠凝吸附可以得到更低的平衡壓力。低溫泵的工作方式是通過表面吸附而進(jìn)行的，表面積越大對低溫泵的工作性能越有利。因此，合適的吸附材料必須具有較大的比表面和吸附容量。對吸附材料進(jìn)行表征的物理量主要有：幾何形狀和顆粒大小分布；表面結(jié)構(gòu)；密度；比表面積；孔徑分布、孔容和平均孔徑大小等。目前研究低溫泵的吸附材料主要是通過以上參數(shù)的表征而進(jìn)行的。

管路布置必須經(jīng)過精心設(shè)計(jì)，以避免應(yīng)力或外力傳遞至工作中的泵上，溫差引起 的收縮和膨脹也應(yīng)在考慮之中，因此，安裝中應(yīng)考慮管路的補(bǔ)嘗。吸入管路連接貯槽排液口和泵進(jìn)液口的吸入管路應(yīng)盡可能短以減少汽化損失和管路壓力損失。管路應(yīng)有沿貯槽向泵下斜的斜度，以使管路中形成的氣體可以返回到貯槽中，考慮到汽化損失，閥及接口的體積不應(yīng)太大，過大的體積將增加熱量的傳入。