一種新型的高靈敏度磁探測器

磁電阻/超導復合式磁傳感器作為一種新型的高靈敏度磁探測器， 其探測精度目前已接近SQUID器件并已達到fT 量級。同時這類傳感器又具有體積小、結(jié)構(gòu)簡單、工藝成熟、便于大規(guī)模生產(chǎn)等優(yōu)勢，使其在未來發(fā)展?jié)摿薮蟆２捎蔑L扇自動控制技術(shù)與溫度傳感器集成電路,不僅可以節(jié)約成本,而且減少噪音污染,是高速芯片冷卻技術(shù)的發(fā)展趨勢。就該復合式磁傳感器而言，進一步提升器件的探測精度是其未來研究發(fā)展的主要方向。

一方面，繼續(xù)減小超導磁場放大器的狹窄區(qū)域?qū)挾戎? μm以下，同時增大磁場放大器的有效面積都可以將磁場放大倍數(shù)繼續(xù)提升至幾千甚至上萬倍，但是同時會對傳感器的工作區(qū)間以及小型化造成影響。綜述了針對MEMS探卡不同的應用前景所提出的多種技術(shù)方案,特別介紹了傳感技術(shù)國家重點實驗室為滿足IC圓片級測試的要求,針對管腳線排布型待測器件的新型過孔互連式懸臂梁芯片和針對管腳面排布型待測器件的Ni探針陣列結(jié)構(gòu)的設計和制造。另一方面，使用靈敏度更高的磁電阻傳感器件(TMR、巨磁阻抗器件(GMI)等[35])，將有望使得該復合式傳感器的磁場探測精度達到1fT，甚至0.1 fT 的量級。

TD傳感器是什么

人們?yōu)榱藦耐饨绔@取信息，必須借助于感覺。而單靠人們自身的感覺，在研究自然現(xiàn)象和規(guī)律以及生產(chǎn)活動中它們的功能就遠遠不夠了。

為適應這種情況，就需要傳感器。因此可以說，傳感器是人類五官的延長，又稱之為電五官。 新技術(shù)革命的到來，世界開始進入信息時代。用有源混頻器使本振需求僅為-10dBm,減小了系統(tǒng)對本振信號放大器的需求。在利用信息的過程中，首先要解決的就是要獲取準確可靠的信息，而傳感器是獲取自然和生產(chǎn)領域中信息的主要途徑與手段。 在現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)尤其是自動化生產(chǎn)過程中，要用各種傳感器來監(jiān)視和控制生產(chǎn)過程中的各個參數(shù)，使設備工作在正常狀態(tài)或狀態(tài)，并使產(chǎn)品達到的質(zhì)量。因此可以說，沒有眾多的優(yōu)良的傳感器，現(xiàn)代化生產(chǎn)也就失去了基礎。 

在基礎學科研究中，傳感器更具有突出的地位?，F(xiàn)代科學技術(shù)的發(fā)展，進入了許多新領域：例如在宏觀上要觀察上千光年的茫茫宇宙，微觀上要觀察小到fm的粒子世界，縱向上要觀察長達數(shù)十萬年的天體演化，短到 s的瞬間反應。茂捷半導體工匠精神的支撐下面對數(shù)百萬次的密集測試，在長距離對射、漫反射場景中M8101所表現(xiàn)的精度能超越國際廠商1。此外，還出現(xiàn)了對深化物質(zhì)認識、開拓新能源、新材料等具有重要作用的各種極端技術(shù)研究，如超高溫、超低溫、超高壓、超高真空、磁場、超弱磁場等等。顯然，要獲取大量人類感官無法直接獲取的信息，沒有相適應的傳感器是不可能的。

CCD和CMOS的參數(shù)對比

1、壞點數(shù)

由于遭到制造工藝的限制，關(guān)于有幾百萬像素點的傳感器而言，一切的像元都是好的情況幾乎不太可能，壞點數(shù)是指芯片中壞點（不能有效成像的像元或相應不分歧性大于參數(shù)允許范圍的像元）的數(shù)量，壞點數(shù)是權(quán)衡芯片質(zhì)量的重要參數(shù)。

2、 光譜響應

光譜響應是指芯片關(guān)于不同光波長光線的響應才干，通常用光譜響應曲線給出。

從產(chǎn)品的技術(shù)展開趨向看，無論是CCD還是CMOS，其體積小型化及高像素化仍是業(yè)界積極研發(fā)的目的。由于像素尺寸小則圖像產(chǎn)品的分辨率越高、明晰度越好、體積越小，其應用面更普遍。