?光學(xué)微電子凈化工程結(jié)構(gòu)材料

1. 凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造，其特點(diǎn)為美觀、剛性強(qiáng)。圓弧墻 角、門、窗框等一般采用氧化鋁型材制造。

2.地面可采用環(huán)氧自流坪地坪耐磨塑料地板，有防靜電要求的，可選用防靜電型。

3.送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成，貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。

4.送風(fēng)口用不銹鋼框架，美觀清潔，沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板，不生銹不粘塵，宜清潔。

凈化工程之潔凈車間日常管理應(yīng)符合哪些要求？

　　1.緩沖區(qū)是潔凈車間的特殊區(qū)域，應(yīng)注有明顯的標(biāo)識(shí)，且保持關(guān)閉狀態(tài)。為了保證室內(nèi)的潔凈度，其出入門不得同時(shí)打開，且應(yīng)設(shè)有連鎖裝置。

　　2.凈化工程的溫濕度應(yīng)得到很好的控制，相對(duì)溫濕度應(yīng)保證在規(guī)定范圍內(nèi)，噪聲、照明等相關(guān)參數(shù)也應(yīng)如此。

　　3.凈化工程的凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)維持在連續(xù)運(yùn)作狀態(tài)，直到清潔維護(hù)工作完成為止。

　　4.潔凈區(qū)與相鄰潔凈區(qū)的靜壓差應(yīng)符合標(biāo)準(zhǔn)要求，即I、II 級(jí)> 8pa;III、IV級(jí)> 5 pa;潔凈區(qū)對(duì)非潔凈區(qū)>10 pa;

　　5.潔凈車間內(nèi)必須處于正壓狀態(tài)，保證室內(nèi)潔凈度。

   帶風(fēng)機(jī)的氣閘室或空氣吹淋室安裝應(yīng)該設(shè)置隔振墊。帶風(fēng)機(jī)的氣閘室和空氣吹淋室是人身凈化設(shè)備。工作人員在進(jìn)入潔凈室前，先經(jīng)過吹淋室內(nèi)的空氣吹林，利用經(jīng)過處理的高速潔凈氣流，將身上的灰塵吹除?？諝獯盗苁野惭b在潔凈室的入口處，還起到氣閘的作用，防止污染的空氣進(jìn)入潔凈室。

   傳遞窗與墻壁連接要注意嚴(yán)密性。傳遞窗與墻壁連接不嚴(yán)密，而且不垂直、不牢固，將造成潔凈室漏風(fēng)，室內(nèi)靜壓得不到保證，降低潔凈室內(nèi)的潔凈精度；并影響傳遞窗啟動(dòng)不靈活。傳遞窗是雙層密封可開啟和關(guān)閉的窗戶，用來作為潔凈室內(nèi)的外傳遞零件、工具，暫時(shí)隔斷室內(nèi)外氣流的貫通，防止污染空氣流入潔凈室。傳遞窗裝有單向控制的機(jī)械聯(lián)鎖機(jī)構(gòu)，保證在外窗關(guān)閉的內(nèi)窗才能開啟。