超精密加工的精度比傳統(tǒng)的精密加工提高了一個(gè)以上的數(shù)量級(jí)。到20世紀(jì)80年代，加工尺寸精度可達(dá)10納米(1×10-8米)，表面粗糙度達(dá)1納米。超精密加工對(duì)工件材質(zhì)、加工設(shè)備、工具、測(cè)量和環(huán)境等條件都有特殊的要求，需要綜合應(yīng)用精密機(jī)械、精密測(cè)量、精密伺服系統(tǒng)、計(jì)算機(jī)控制以及其他先進(jìn)技術(shù)。工件材質(zhì)必須極為細(xì)致均勻，并經(jīng)適當(dāng)處理以消除內(nèi)部殘余應(yīng)力,保證高度的尺寸穩(wěn)定性,防止加工后發(fā)生變形。

精密零件加工。工藝系統(tǒng)受力變形產(chǎn)生的誤差。

一是工件剛度.工藝系統(tǒng)中如果工件剛度相對(duì)于機(jī)床、刀具、夾具來說比較低,在切削力的作用下,工件由于剛度不足而引起的變形對(duì)加工精度的影響就比較大。

二是刀具剛度。外圓車刀在加工表面法線方向上的剛度很大,其變形可以忽略不計(jì).鏜直徑較小的內(nèi)孔,刀桿剛度很差,刀桿受力變形對(duì)孔加工精度就有很大影響。

三是機(jī)床部件剛度。機(jī)床部件由許多零件組成,機(jī)床部件剛度迄今尚無合適的簡(jiǎn)易計(jì)算方法,目前主要還是用實(shí)驗(yàn)方法來機(jī)床部件剛度。

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機(jī)械零部件加工的時(shí)候，要了解這個(gè)零件的具體情況，是某一設(shè)備的其中一部分，還是一個(gè)單獨(dú)存在的零件。這個(gè)零件的外形尺寸如何，我們的設(shè)備能不能加工。還有需要通過哪些工序進(jìn)行加工，這個(gè)之間的先后程序如何。還有就是零件在加工當(dāng)中，難做到的是哪些方面。另外零件的加工流程和思路，要在腦子里面形成一個(gè)過程，看有沒有錯(cuò)誤。