有機(jī)高純氣體

烷烴類：（CH4）、乙烷（C2H6）、丙烷（C3H8）、環(huán)丙烷（cyc-C3H6）、正丁烷（n-C4H10）、異丁烷（i-C4H10）、正戊烷（n-C5H12)、新戊烷（neo-C5H12）、氯（CH3Cl）、氯乙烷（C2H5Cl）、三氟（CHF3）、環(huán)氧乙烷（C2H4O）、砷烷（AsH3）、磷烷（PH3）、硼烷（B2H6）、硅烷（SiH4）等

五、使用時(shí)要嚴(yán)格按操作規(guī)程和安全操作要點(diǎn)執(zhí)行，使用時(shí)減壓閥應(yīng)安裝牢固，開啟氣瓶閥門時(shí)要緩慢。氣瓶的閥門如有損壞不得使用，并應(yīng)由專門單位維修。

六、除貯存、使用氫氣的場(chǎng)所有可能有氫氣泄漏外，某些物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)時(shí)也會(huì)產(chǎn)生氫氣，如金屬l鉀、鈉遇水會(huì)放出氫氣；12、使用氫氧火焰，閥門操作順序?yàn)椋狐c(diǎn)火時(shí)，先開氫氣閥，點(diǎn)燃后，開氧氣閥?；顫娊饘儆鏊岚l(fā)生置換反應(yīng)產(chǎn)生氫氣；蓄電池充電時(shí)也有氫氣放出。所以對(duì)于有可能產(chǎn)生氫氣的場(chǎng)所，也應(yīng)根據(jù)情況采取相應(yīng)的防火防爆措施。

三氟化氮在常溫下是一種無(wú)色、無(wú)臭、性質(zhì)穩(wěn)定的氣體，是一種強(qiáng)氧化劑。三氟化氮在微電子工業(yè)中作為一種優(yōu)良的等離子蝕刻氣體，在離子蝕刻時(shí)裂解為活性氟離子，這些氟離子對(duì)硅和鎢化合物，高純?nèi)哂袃?yōu)異的蝕刻速率和選擇性（對(duì)氧化硅和硅），它在蝕刻時(shí)，在蝕刻物表面不留任何殘留物，是非常良好的清洗劑，同時(shí)在芯片制造、高能激光器方面得到了大量的運(yùn)用。六氟化硫因上述及其它優(yōu)良特性，近年來(lái)被廣泛用于電力、電子、電氣行業(yè)和激光、醫(yī)l療、氣象、制冷、消防、化工、軍事、宇航、有色冶金、物理研究等。