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由于氮氣與氧氣的沸點相差不大，液態(tài)空氣與氣態(tài)空氣需經過反復多次的蒸發(fā)、冷凝、再蒸發(fā)過程（該過程稱為低溫精餾過程），終在精留塔頂部氣相餾分中就可以過得較高高純度的氮氣，氮氣的純度取決于精餾塔的塔板級數和精餾效率。

深冷分離法工藝已經歷了 100 多年的發(fā)展，先后經歷了高壓、高低壓、中壓和全低壓流程等多種不同的工藝流程。

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全低壓外壓縮流程生產出低壓氧氣或氮氣，然后經外置的壓縮機將產品氣體壓縮至所需壓力供給用戶。全低壓內壓縮流程將精餾產生的液態(tài)氧或液態(tài)氮在冷箱內通過液體泵加壓至用戶所需壓力后汽化，并在主換熱器內復熱后供給用戶。主要工藝過程為原料空氣過濾、壓縮、冷卻、純化、增壓、膨脹、精餾、分離、復熱、外供。

瑞典化學家卡爾·謝勒（Carl Scheele）和蘇格蘭植物學家丹尼爾·盧瑟福（Daniel Rutherford）在1772年分部發(fā)現了氮。牧師卡文迪許和拉瓦錫也在差不多的同一時間獨立地獲得了氮。氮氣首先被拉瓦錫（Lavoisier）認可為元素，他將其命名為“偶氮”，意思是“無生命”。查普塔爾在1790年將該元素命名為氮。該名稱源自希臘語“nitre”（硝鹽中含氮的硝鹽）。

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氮氣氣密

檢查裝置氣密性的實驗。氣密性試驗主要是檢驗容器的各聯接部位是否有泄漏現象。介質毒性程度為高度危害或設計上不允許有微量泄漏的壓力容器，須氣密性試驗。