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湖北豐熱科技有限公司(原武漢離子熱處理研究所),專業(yè)制造輝光離子滲氮爐的高新技術(shù)企業(yè);是集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售安裝輝光離子滲氮爐,并為用戶提供成套的離子滲氮工藝技術(shù)服務(wù)。
離子滲氮與氣體滲氮相比能源消耗少。由于離子氮化法利用輝光放電直接對工件進行加熱。也無需特別的加熱和保溫設(shè)備,且可以獲得均勻的溫度分布,與間接加熱方式棚比加熱效率可提高2倍以上,達到節(jié)能效果,可大大降低處理成本。
利用稀薄氣體的輝光放電現(xiàn)象加熱工件表面和電離化學(xué)熱處理介質(zhì),使之實現(xiàn)在金屬表面滲入欲滲元素的工藝稱為輝光放電離子化學(xué)熱處理,簡稱離子化學(xué)熱處理。因為在主要工作空間內(nèi)是等離子體,故又稱等離子化學(xué)熱處理。
兩種靶電源不同之處:選用(工藝型)雙極矩形波或正弦波中頻靶電源,因其輸出的電壓和電流的占空比可以大范圍連續(xù)調(diào)節(jié),鍍膜時電源的工藝參數(shù)適應(yīng)范圍比“經(jīng)濟型”中頻靶電源要寬很多;1988年,Kanazawa等人報道了在大氣壓下使用氦氣獲得了穩(wěn)定的APGD的研究成果,并通過實驗總結(jié)出了產(chǎn)生APGD要滿足的三個條件:(1)激勵源頻率需在1kHz以上。適用于需要經(jīng)常變化的磁控濺射鍍膜工藝和不同材質(zhì)的膜層。?(經(jīng)濟型)雙極性矩形波或正弦波中頻靶電源的輸出電壓或電流的工藝調(diào)節(jié)范圍偏窄,若相關(guān)參數(shù)選配合適,一般可用于磁控濺射鍍膜工藝相對固定和單一的工業(yè)生產(chǎn)中,其優(yōu)點是靶電源價格可以相對便宜。??