復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。⑴潔凈隧道（Clean Tunnel）：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃?jí)提高至10級(jí)以上，可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離，以避免機(jī)器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì)，ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項(xiàng)優(yōu)點(diǎn)：A.彈性擴(kuò)充容易；由于金屬半壁（彩鋼夾心板）的應(yīng)用來自建筑表面的發(fā)塵也很少，一般占10%以下，發(fā)塵主要來自人，占90%左右。 B.維修設(shè)備時(shí)可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。

    工業(yè)無塵室用途——以無生命微粒的控制為對(duì)象。無塵室（無塵廠房）主要控制空氣塵埃微粒對(duì)工作對(duì)象的污染，內(nèi)部一般保持正壓狀態(tài)。它適用于精密機(jī)械工業(yè)、電子工業(yè)（半導(dǎo)體、集成電路等）宇航工業(yè)、高純度化學(xué)工業(yè)、原子能工業(yè)、光磁產(chǎn)品工業(yè)（光盤、膠片、磁帶生產(chǎn)）LCD（液晶玻璃）、電腦硬盤、電腦磁頭生產(chǎn)等多種不同行業(yè)。防靜電垂簾：四周圍用防靜電垂簾（或鋼化玻璃），防靜電效果好、透明度高、網(wǎng)格清晰、柔韌度好、不變形、不易老化。

   簡易無塵室是一種可提供局部高潔凈環(huán)境的空氣凈化設(shè)備。簡易無塵室主要由箱體、風(fēng)機(jī)、初效空氣過濾器、阻尼層、燈具等組成，外殼噴塑。

   產(chǎn)品配制

   1.框架：以工業(yè)鋁材（或不銹鋼方通、鐵方通噴塑）作為框架穩(wěn)固、美觀、不生銹、不產(chǎn)塵；

   2.防靜電垂簾：四周圍用防靜電垂簾（或鋼化玻璃），防靜電效果好、透明度高、網(wǎng)格清晰、柔韌度好、不變形、不易老化；

   3.風(fēng)機(jī)濾網(wǎng)機(jī)組FFU：，采用離心風(fēng)機(jī)，內(nèi)部凈化級(jí)別可達(dá)100-100K級(jí)；

   4.內(nèi)部采用凈化室專用凈化燈，不產(chǎn)塵；

    無塵潔凈室中的三塵。風(fēng)淋室作為進(jìn)入潔凈室的緩沖通道之一，是控制帶塵的好凈化設(shè)備之一，它可以大限度地減少員工進(jìn)出無塵潔凈室所帶來的污染問題。無塵潔凈室有三大原則：禁塵、帶塵、產(chǎn)塵。風(fēng)淋室作為進(jìn)入潔凈室的緩沖通道之一，是控制帶塵的好凈化設(shè)備之一，它可以大限度地減少員工進(jìn)出無塵潔凈室所帶來的污染問題。風(fēng)淋室的兩道門電子互鎖，可以兼起氣閘室的作用，阻止外界污染和未被凈化的空氣進(jìn)入無塵潔凈區(qū)域，達(dá)到生產(chǎn)車間所要求的生產(chǎn)潔凈環(huán)境。