每立方米將大于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下，就達到了國際無塵標準的A。應用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A，這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴格控制在每立方米1000個以內(nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。影響無塵室的氣流因素很多，如制程設(shè)備、人員、無塵室組裝材、照明器具等，同時對于生產(chǎn)設(shè)備上方氣流的分流點，亦應列入考慮因素。

    無塵室的優(yōu)點：構(gòu)造簡單、系統(tǒng)建造成本，無塵室之擴充比較容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺，提高無塵室等級。

    無塵室的缺點：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi) 空間飄浮不易排出，易污染制無塵室程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運轉(zhuǎn)再重啟，欲達需求之潔凈度，往往須耗時相當長一段時間。

    并裝局部無塵室（Clean Spot）：將無塵室等級10,000~100,000之亂流無塵室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級提高為10~1000級以上，以為生產(chǎn)之用；潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風柜即屬此類。潔凈工作臺：等級Class 1~100級。潔凈工作棚：為在亂流式之無塵室空間內(nèi)以防靜電之透明塑料布圍成一小空間，采用獨立之HEPA或ULPA及空調(diào)送風機組而成為一較高之潔凈空間，其等級為10~1000級，高度在2.5米左右，覆蓋面積約10m2以下，四支支柱并加裝活動輪，可為彈性運用。在單流向型無塵室，風速測量的位置可由業(yè)主預定，一般是在濾網(wǎng)表面或是工作高度。

   無塵室內(nèi)防止微粒子污染的基本原則：

    不發(fā)生

　　在控制大污染源--人在無塵室內(nèi)的微粒子發(fā)塵量的同時，也應控制第二大污染源—制造機臺的發(fā)塵量。因物品在移動時，所產(chǎn)生的摩擦及接觸剝離會造成發(fā)塵，而物品在移動時也會有微粒子的發(fā)生。故為了控制發(fā)塵量達到小限度應采取以下對策：

　　減少接觸剝離發(fā)塵的動作形態(tài)；

　　采用磨耗發(fā)塵小的材質(zhì)；

　　采用發(fā)塵小的潤滑油；

　　機臺應用空壓浮上的非接觸化工作原理。

    無塵潔凈室中的三塵。無塵潔凈室有三大原則：禁塵、帶塵、產(chǎn)塵。風淋室作為進入潔凈室的緩沖通道之一，是控制帶塵的好凈化設(shè)備之一，它可以大限度地減少員工進出無塵潔凈室所帶來的污染問題。無塵室的優(yōu)點：構(gòu)造簡單、系統(tǒng)建造成本，無塵室之擴充比較容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺，提高無塵室等級。風淋室的兩道門電子互鎖，可以兼起氣閘室的作用，阻止外界污染和未被凈化的空氣進入無塵潔凈區(qū)域，達到生產(chǎn)車間所要求的生產(chǎn)潔凈環(huán)境。