無(wú)塵室被定義為具備空氣過(guò)濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間，其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃?jí)別。

　  氣流是控制潔凈度與溫濕度的主要因素，它對(duì)噪音也有一些影響。因此風(fēng)速測(cè)量，都是放在無(wú)塵室測(cè)試的步。除非得到管理人員的特別許可，否則，在潔凈室里，衣服口袋只能是空的。風(fēng)速測(cè)量的目的，是確認(rèn)濾網(wǎng)送出的氣流滿(mǎn)足設(shè)計(jì)規(guī)范，其次是確認(rèn)氣流的均勻度。在某些場(chǎng)合可能因現(xiàn)場(chǎng)的限制，室內(nèi)換氣量還必須用風(fēng)速乘以出口面積來(lái)?yè)Q算。

   無(wú)塵室內(nèi)防止微粒子污染的基本原則：

    不發(fā)生

　　在控制大污染源--人在無(wú)塵室內(nèi)的微粒子發(fā)塵量的同時(shí)，也應(yīng)控制第二大污染源—制造機(jī)臺(tái)的發(fā)塵量。因物品在移動(dòng)時(shí)，所產(chǎn)生的摩擦及接觸剝離會(huì)造成發(fā)塵，而物品在移動(dòng)時(shí)也會(huì)有微粒子的發(fā)生。故為了控制發(fā)塵量達(dá)到小限度應(yīng)采取以下對(duì)策：

　　減少接觸剝離發(fā)塵的動(dòng)作形態(tài)；

　　采用磨耗發(fā)塵小的材質(zhì)；

　　采用發(fā)塵小的潤(rùn)滑油；

　　機(jī)臺(tái)應(yīng)用空壓浮上的非接觸化工作原理。

    清潔室內(nèi)用品除了進(jìn)出潔凈室用的潔凈衣、防靜電鞋、頭罩、帽、手套、口罩外，尚有如紙張文具桌子、椅子、晶片盒、搬運(yùn)車(chē)、筆記本、告示板及垃圾箱、真空洗塵器等。潔凈衣材料以洗后或使用其他處理后仍不會(huì)變質(zhì)或發(fā)塵者為基本條件，且其布料為不燃、不起毛，其織法或布料組織不易通過(guò)污染物和不易附著污染物材質(zhì)，另外經(jīng)過(guò)摩擦不產(chǎn)生靜電或帶電性非常，洗滌再生容易、不易皺、著衣感舒適等亦為選用考慮因素。風(fēng)淋室的兩道門(mén)電子互鎖，可以兼起氣閘室的作用，阻止外界污染和未被凈化的空氣進(jìn)入無(wú)塵潔凈區(qū)域，達(dá)到生產(chǎn)車(chē)間所要求的生產(chǎn)潔凈環(huán)境。頭罩材質(zhì)為無(wú)塵紙（或無(wú)纖紙）制成，帽子材質(zhì)則與潔凈衣同，二者在穿戴使用時(shí)，除了只露出眼睛或臉表面部分外，其他部分均須包覆，在頭部部分連接上衣處也必須完全蓋住，不能留有空隙，頭發(fā)亦不能露出來(lái)。