ZF500有機(jī)蒸發(fā)鍍膜機(jī)

廣泛應(yīng)用于高校材料、物理、化學(xué)、電子、能源等相關(guān)學(xué)科以及科研院所制備高質(zhì)量功能薄膜、蒸鍍電極等，半導(dǎo)體、有機(jī)EL、OLED顯示研究與開發(fā)領(lǐng)域。

系統(tǒng)組成:

主要由真空室、蒸發(fā)源、樣品臺(tái)、 真空抽氣及測(cè)量、膜厚測(cè)試 、電控系統(tǒng)組成。

技術(shù)指標(biāo)：

極限真空度4×10-5Pa，系統(tǒng)漏率：1.2×10-7PaL/S； 恢復(fù)真空時(shí)間：40分鐘可達(dá)6.0×10 Pa-4

真空室：D形真空室，尺寸350× 400mm

樣品臺(tái)：尺寸為4英寸4平面樣品；

有機(jī)束源爐：數(shù)量：4支，標(biāo)準(zhǔn)型600度控溫；

樣品架：安裝加熱爐。基片的溫度從室溫至600℃（硅片上表面的溫度，只需標(biāo)定一次即可）

4套擋板系統(tǒng)：動(dòng)密封手動(dòng)控制；

樣品擋板（１套），磁力撥叉，

膜厚控制儀：膜厚測(cè)量范圍0-999999? 

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有機(jī)熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)介紹

沈陽(yáng)鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司——專業(yè)生產(chǎn)、銷售電阻熱蒸發(fā)鍍膜產(chǎn)品，我們公司堅(jiān)持用戶為上帝，想用戶之所想，急用戶之所急，以誠(chéng)為本，講求信譽(yù)，以產(chǎn)品求發(fā)展，以質(zhì)量求生存，我們熱誠(chéng)地歡迎各位同仁合作共創(chuàng)輝煌。

真空：極限真空6*10 -5 帕

工作真空6*10 -4 帕

恢復(fù)工作真空時(shí)間：連接手套箱≤10分鐘

不連接手套箱，充干燥氮?dú)狻?0分鐘

本套設(shè)備配有8個(gè)有機(jī)源及2個(gè)金屬源

金屬蒸發(fā)源和有機(jī)蒸發(fā)源可按客戶要求配置

膜厚探頭及膜厚儀有國(guó)產(chǎn)或者進(jìn)口可選

金屬蒸發(fā)源配有1000w電源

有機(jī)蒸發(fā)源配有可控溫電源，控溫精度±1℃