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PLD450型脈沖激光鍍膜介紹
沈陽鵬程真空技術有限責任公司——專業(yè)脈沖激光沉積供應商,我們?yōu)槟鷰硪韵滦畔ⅰ?
主要用途:
用于制備超導薄膜、半導體薄膜、鐵電薄膜、超硬薄膜等。適用于各大專院校、科研院所進行薄膜材料的科研與小批量制備。
系統(tǒng)組成:
主要由濺射真空室、旋轉(zhuǎn)靶臺、基片加熱臺、工作氣路、抽氣系統(tǒng)、安裝機臺、真空測量及電控系統(tǒng)等部分組成?! ?
脈沖激光沉積選件介紹
激光分子束外延(Laser MBE )
激光MBE 是普遍采用的術語,該法是一種納米尺度薄膜合成的理想方法,高真空下的PLD 與在線工藝監(jiān)測的反射高能電子衍射(RHEED)的聯(lián)合應用,用戶提供了類似于MBE 的薄膜生長的單分子水平控制。
正確的設計是成功使用RHEED 和PLD 的重要因數(shù)
RHEED 通常在高真空(<10-6 torr)環(huán)境下使用。然而,因為在某些特殊情況下,PLD 采用較高的壓力,差動抽氣是必要的,
維持RHEED 槍的工作壓力,同時保持500 mTorr 的PLD 工藝壓力。同時,設計完整的系統(tǒng)消除磁場對電子束的影響是至關重要的。Neocera 的激光MBE 系統(tǒng)可以為用戶提供在壓力達到500 mTorr 時所需的單分子層控制。
以上內(nèi)容由沈陽鵬程真空技術有限責任公司為您提供,希望對同行業(yè)的朋友有所幫助!
常規(guī)沉積條件下的組合合成
脈沖激光沉積系統(tǒng)特點及優(yōu)勢:
可根據(jù)客戶需求定制產(chǎn)品,靈活性高,并提供專業(yè)的技術支持;靶臺可以安裝6個靶位,靶材更換靈活;樣品臺樣品尺寸從10x10mm樣品到2英寸樣品均適用;進樣室可以存儲多個靶和樣品;交易過程無需繁瑣的進、出關手續(xù), 交貨期短,性價比高;
沈陽鵬程真空技術有限責任公司擁有先進的技術,我們都以質(zhì)量為本,信譽高,我們竭誠歡迎廣大的顧客來公司洽談業(yè)務。如果您對脈沖激光沉積感興趣,歡迎點擊左右兩側(cè)的在線客服,或撥打咨詢電話。