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半導(dǎo)體減薄機(jī)生產(chǎn)商點擊了解更多,凱碩恒盛公司

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發(fā)布時間:2021-07-14 08:41  







誠薄機(jī)對晶片誠薄的必要性及作用?

根據(jù)制造工藝的要求來講,目前對晶片的尺寸、幾何精度、表面潔凈度以及表面微晶結(jié)構(gòu)提出了較高的要求,因此,在制造工藝的過程中減薄機(jī)對晶片減薄是相對不可缺少的一部分。那么,關(guān)于晶片減薄的必要性及作用具體體現(xiàn)哪些方面呢?

1.提高芯片的散熱性能要求

在集成電路中,由于硅基體材料及互聯(lián)金屬層存在電阻,在電流的作用下,芯片要產(chǎn)生的發(fā)熱現(xiàn)象。而在芯片工作的過程中,由于部分熱量的產(chǎn)生,使得芯片背面產(chǎn)生內(nèi)應(yīng)力。芯片熱量逐漸升高,基體層之間的熱差異性加劇,這無疑加大了芯片的內(nèi)應(yīng)力。較大的內(nèi)應(yīng)力使芯片生產(chǎn),這是芯片損壞的主要原因之一。因此,只有通過減薄機(jī)對晶片背面進(jìn)行減薄,才可以降低芯片熱阻,有效提高芯片的散熱性能,從而降低了芯片破損的風(fēng)險,提高了集成電路的可靠性。2.集成電路制造工藝要求

通過對晶片減薄工藝后,使其更加有利芯片分離,在一定程度上提高了劃片的質(zhì)量以及成品率。在許多集成電路制造領(lǐng)域內(nèi),大家對集成電路芯片超薄化的要求是越來越高,要想得到高質(zhì)量的超薄芯片,我們就必須通過晶片減薄工藝的方式從而獲取。

通過以上兩點可以得出,只有通過減薄機(jī)對晶片減薄,才能更好的保證芯片的厚度及尺寸等方面的要求,這也足夠充分的體現(xiàn)了晶片減薄工藝的重要性。

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硅片高速減薄機(jī)特點

北京凱碩恒盛科技有限公司主營項目:雙面研磨機(jī),內(nèi)圓磨床,外圓磨床,減薄機(jī),軸承磨加設(shè)備,汽車零部件磨床,砂輪,刀具等。

硅片高速減薄機(jī)特點:

1.可使工件加工厚度減薄到0.02mm厚而不會破碎。而且平行度與平面度可控制在±0.002mm范圍內(nèi)。

2.減薄,LED藍(lán)寶石襯底每分鐘可減薄48um。硅片每分鐘可減薄250um。

3.系列研磨機(jī)采用CNC程控系統(tǒng),觸摸屏操作面板。


立式減薄機(jī)IVG-200S設(shè)備特點


1.操作簡單

該設(shè)備采用PLC控制系統(tǒng),通過簡單的培訓(xùn),操作者即可在液晶顯示屏友好界面的引導(dǎo)下,熟練操作設(shè)備。當(dāng)設(shè)備出現(xiàn)故障時, 屏幕向?qū)崾境鲥e編碼,易于排除故障。

2.設(shè)計安全

該設(shè)備的設(shè)計處處為使用者的安全著想,保證操作加工的安全。

3.保證精度

磨盤的進(jìn)給采用微米步進(jìn)電機(jī)進(jìn)給系統(tǒng),保證長時間的加工精度。

4.各輪獨立驅(qū)動

磨盤及工件盤均采用獨立的電機(jī),分別采用變頻或伺服控制,轉(zhuǎn)速可任意調(diào)整,且控制簡便。

5.冷卻水循環(huán)使用

冷卻水箱配有雜質(zhì)過濾系統(tǒng),冷卻水可循環(huán)使用,即節(jié)約成本,又減少了對環(huán)境的環(huán)境。一臺冷卻水箱可同時連接多臺設(shè)備。






立式減薄機(jī)IVG-200S設(shè)備結(jié)構(gòu)

1.構(gòu)成

1)磨盤主軸系統(tǒng)

2)工件盤主軸系統(tǒng)

3)進(jìn)給系統(tǒng)

4)控制系統(tǒng)

5)輔助設(shè)備

2。規(guī)格

1)砂輪尺寸:(O.D)200mm×(X)7mm×(T)5mm

2)加工尺寸:較大Φ250mm

3)速度和功率:

砂輪:3,000rpm(無級可調(diào))  3.0kW AC伺服電機(jī)

工件:200rpm (無級可調(diào))   0.75kW 齒輪電機(jī)

4)分辨度:0.001mm

5)精度:±0.002mm

6)重復(fù)度:0.001mm

7)研磨范圍:200mm

8)進(jìn)給率:0.1μm-1000μm/sec






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