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真空檢漏
真空檢漏技術(shù)就是用適當?shù)姆椒ㄅ袛嗾婵障到y(tǒng)、容器或器件是否漏氣、確定漏孔位置及漏率大小的一門技術(shù),相應(yīng)的儀器稱為檢漏儀。在真空系統(tǒng)、容器、器件制造過程中借助真空檢漏技術(shù)確定它們的真空氣密性、探查漏孔的位置,以便采取措施將漏孔封閉從而使系統(tǒng)、容器、器件中的真空狀態(tài)得以維持。
漏率的大小需進行校準后方能確定。一般采用比較法,即將被檢漏孔與標準漏孔在檢漏儀上進行比較,就可得出被檢漏孔的漏率。 檢測真空系統(tǒng)或其零部件的漏孔的方法。對一定的容器進行足夠長時間的抽氣后,容器壓力不再變化,這時的抽氣量必定與容器的漏氣量和放氣量之和相等,即puSe=qL q0,式中pu為容器的極限壓力,Se為容器排氣口處的有效抽氣速率,qL和q0分別為容器的漏氣量和放氣量。如放氣量少到可以不計,則平衡式變?yōu)閜uSe=qL,或pu=qL/Se。這說明容器的極限壓力由漏氣量與有效抽氣速率的比值決定。如抽氣速率一定(常數(shù)),要得到低的極限壓力便應(yīng)降低漏氣量,檢漏便是關(guān)鍵的措施。
漏孔就是真空容器的孔洞和孔隙。容器內(nèi)外的壓力差會使氣體通過漏孔從容器的一側(cè)通向大氣側(cè)。漏孔一般很微小,實際上不能測出漏孔的具體大小,所以漏孔大小都用漏率(在規(guī)定的條件下氣體流過漏孔的流量)來表示。漏孔兩側(cè)存在著壓力差,即可利用氣體流動引起的效應(yīng)來檢漏。為便于檢漏和易于檢測出漏孔的位置,一般盡可能縮小檢測的面積范圍,所以先側(cè)重于對零部件的檢漏。零部件經(jīng)過嚴格的檢漏,組裝后就可避免漏氣。
氦質(zhì)譜檢漏儀燈絲脆斷故障
檢漏技術(shù)在我國經(jīng)濟中占有非常重要的地位,被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、原子能、電力、航空、航天、、制冷、真空、汽車等行業(yè)。
氦質(zhì)譜檢漏法與泡檢漏法、壓強衰減法和鹵素檢漏法相比,除檢漏原理不同以外,還具有監(jiān)測靈敏度高,速度快、適用范圍廣,探索氣體無毒性、無破壞性、質(zhì)量輕等優(yōu)點,是諸多檢漏法中有效的方法。
氦質(zhì)譜檢漏儀在使用過程中,常見的故障就是燈絲脆斷,氦質(zhì)譜檢漏儀燈絲多采用鎢錸合金絲制作。因為純鎢絲高溫使用發(fā)生再結(jié)晶以后變得很脆,再受到?jīng)_擊或震動時極易斷裂。原因是鎢常在晶界面上孕育出微裂紋,這些微裂紋的擴展極易造成鎢的碎斷。而鎢錸合金在變形過程中易形成孿晶,減少了堆垛層位錯能量,降低位錯移動的晶界阻抗,從而使位錯遷移率增加,促使了鎢的固溶軟化,此現(xiàn)象稱為“萊塑化效應(yīng)”。該效應(yīng)降低了氦質(zhì)譜檢漏儀燈絲在高溫下的斷裂的風(fēng)險,錸濃度高時的塑化效應(yīng)降低。
鎢錸絲具有高熔點,高強度、高硬度、高塑性、高的再結(jié)晶溫度、高電阻率、低蒸汽壓、低電子逸出功和低的塑性脆性轉(zhuǎn)變溫度等優(yōu)點。但鎢錸絲制作的燈絲極易氧化,在真空、惰性氣體中可以保持很長的使用壽命,但在氧化性氣氛中容易被碳化,降低其靈敏性并引發(fā)脆斷,在有氫氣存在的情況下,會加速碳化。
氦質(zhì)譜檢漏儀的優(yōu)勢
科技信息化不斷更新迭代的市場,氦質(zhì)譜檢漏儀的應(yīng)用技術(shù)也在不斷發(fā)展和完善。一方面過去的氦質(zhì)譜檢漏儀不能滿足現(xiàn)階段的一個需求,而且對檢漏儀提出新要求的情況下,檢漏儀設(shè)備使更新,另一方面每個行業(yè)的不足都在進步的過程,缺陷與不足相互補充,相互促進。而現(xiàn)在的氦質(zhì)譜檢漏儀早已告別了四五十年代的初期情形,在性能和領(lǐng)域上都有新的突破。
氦質(zhì)譜檢漏儀從以往的單方面領(lǐng)域的應(yīng)用到現(xiàn)在多領(lǐng)域的應(yīng)用,如:航空航天高科技工業(yè)、電力行業(yè)、電子行業(yè)、真空儀器儀表行業(yè)、核工業(yè)、制冷行業(yè)、不銹鋼保溫器皿等。其實氦質(zhì)譜檢漏儀的領(lǐng)域應(yīng)用廣發(fā)也是代表科技的一大進步,常見的氦質(zhì)譜檢漏儀檢測儀方法有漏點型、漏率型兩種。
氦質(zhì)譜檢漏儀適用于元件檢漏的要求,靈活性測試,高靈敏度,快速啟動,移動性和系統(tǒng)的可靠性。