由于選用物理氣相堆積工藝可大幅度進(jìn)步刀具的切削性能，人們在競相開發(fā)、高可靠性設(shè)備的一同，也對其運(yùn)用范疇的擴(kuò)展，尤其是在高速鋼、硬質(zhì)合金和陶瓷類刀具中的運(yùn)用進(jìn)行了愈加深化的研究。

化學(xué)氣相堆積技術(shù)是把含有構(gòu)成薄膜元素的單質(zhì)氣體或化合物供給基體，憑仗氣相作用或基體表面上的化學(xué)反應(yīng)，在基體上制出金屬或化合物薄膜的方法，首要包含常壓化學(xué)氣相堆積、低壓化學(xué)氣相堆積和兼有CVD和PVD兩者特點(diǎn)的等離子化學(xué)氣相堆積等。

光學(xué)鍍膜所觸及的制造工藝是勞作和資本密集型的，并且非常耗時。影響鍍膜本錢的因素包括被鍍膜的光學(xué)件的數(shù)量，類型，尺寸，需求鍍多少層膜以及光學(xué)件上需求鍍膜的外表數(shù)量。鍍膜選用的堆積工藝對鍍膜本錢以及鍍膜功能方面的影響也非常巨大。此外，在這之前還需求做大量的準(zhǔn)備作業(yè)，以保證每個鍍膜光學(xué)件的質(zhì)量都能達(dá)到較高水平。

使用前各電源開關(guān)及操作按鈕應(yīng)處于斷開位置，接通水源，氣源，電源。

1）打開真空控制電源開關(guān)。

2）開維持泵對擴(kuò)散泵抽低真空，并測量前級真空度。

3）待前級壓力達(dá)到5.0*10pa后，開擴(kuò)散泵加熱。

4）開充氣閥，對鍍膜室充氣，打開鍍膜室門，裝好清洗干凈的工件，關(guān)好爐門。

5）待擴(kuò)散泵正常工作一小時后，開機(jī)械泵開預(yù)抽閥，對真空室手抽真空至1.0*103pa，然后開羅茨泵。