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由于選用物理氣相堆積工藝可大幅度進步刀具的切削性能,人們在競相開發(fā)、高可靠性設備的一同,也對其運用范疇的擴展,尤其是在高速鋼、硬質合金和陶瓷類刀具中的運用進行了愈加深化的研究。
化學氣相堆積技術是把含有構成薄膜元素的單質氣體或化合物供給基體,憑仗氣相作用或基體表面上的化學反應,在基體上制出金屬或化合物薄膜的方法,首要包含常壓化學氣相堆積、低壓化學氣相堆積和兼有CVD和PVD兩者特點的等離子化學氣相堆積等。
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