氦質(zhì)譜檢漏儀（Helium Mass SpectrometerLeakDetector）為氣體工業(yè)名詞術(shù)語(yǔ)，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測(cè)氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過(guò)漏孔并易擴(kuò)散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設(shè)備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調(diào)整到僅對(duì)氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài)）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應(yīng)，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。

一般來(lái)說(shuō)，下列一些緣故會(huì)導(dǎo)致溫度轉(zhuǎn)變，從而對(duì)檢測(cè)造成危害：1、充氣全過(guò)程中氣體分子結(jié)構(gòu)磨擦熱普遍狀況：充氣全過(guò)程中氣體分子結(jié)構(gòu)磨擦?xí)斐砂l(fā)熱量造成，依據(jù)氣體式子PV=NRT，所知會(huì)造成檢測(cè)腔體內(nèi)部工作壓力上升，當(dāng)充氣完畢后溫度又會(huì)遲緩修復(fù)到一切正常的室內(nèi)溫度，因而充氣完畢后的穩(wěn)壓管時(shí)間假如不充足，即到測(cè)試階段腔體內(nèi)部溫度仍出自于下降的回應(yīng)期，那麼從而溫度下降所造成的工作壓力下降就會(huì)立即體現(xiàn)到儀器設(shè)備所檢測(cè)的泄露量中。危害:在測(cè)試階段泄露量由大縮小直到保持穩(wěn)定。

    一般來(lái)說(shuō)，下邊緣故會(huì)導(dǎo)致溫度轉(zhuǎn)變，從而對(duì)測(cè)試造成危害測(cè)試產(chǎn)品本身帶有溫度普遍狀況：機(jī)械加工出去的工件歷經(jīng)簡(jiǎn)易清理立即進(jìn)到測(cè)試工裝夾具，工件自身還帶有較高的溫度。冬季放到戶外的工件立即取得房間內(nèi)后就開展測(cè)試。危害：帶有較高溫度的工件在開展測(cè)試時(shí)候?qū)Τ溥M(jìn)的汽體不斷長(zhǎng)時(shí)間的加溫，在測(cè)試環(huán)節(jié)產(chǎn)品內(nèi)部的氣體壓力會(huì)居高不下，測(cè)試結(jié)果出現(xiàn)負(fù)值。立即由超低溫自然環(huán)境取得高溫自然環(huán)境測(cè)試的產(chǎn)品，因?yàn)闇囟鹊膮^(qū)別，和測(cè)試時(shí)間的不一樣將會(huì)會(huì)出現(xiàn)泄露質(zhì)量互變規(guī)律大，也將會(huì)會(huì)出現(xiàn)測(cè)試負(fù)值的不一樣狀況。

氣密性檢測(cè)設(shè)備故障處理

1.OK 產(chǎn)品被判定為 NG

做法：把儀器后面連接標(biāo)準(zhǔn)品和測(cè)試品的氣管堵住，然后按啟動(dòng)按鈕開始測(cè)試，看泄漏量判斷儀器是否有問(wèn)題，如果沒有泄漏則不是儀器問(wèn)題，便可以排查夾具，看看是不是夾具松動(dòng)或者沒有夾緊導(dǎo)致的泄漏。

2.儀器無(wú)法啟動(dòng)

首先確認(rèn)一下治具光柵是否正確連接儀器，如不需要光柵則需要在功能設(shè)置界面把關(guān)閉安全光柵勾選上。

3.治具氣缸無(wú)動(dòng)作，或動(dòng)作之后儀器一直未進(jìn)入充氣流程

氣缸無(wú)動(dòng)作需要確認(rèn)儀器與治具連接線是否導(dǎo)通，氣缸氣管是否連接正常。氣缸動(dòng)作之后未進(jìn)入充氣流程可能由于未給儀器接點(diǎn)感知信號(hào)，不需要勾選感知信號(hào)對(duì)應(yīng)的勾選框。