高純氣體產(chǎn)品的等級與純度

習(xí)慣上, 我們用普通氣(工業(yè)氣)、純氣、高純氣、超純氣來表示氣體產(chǎn)品的等級, 但目前尚無法對上述概念規(guī)定統(tǒng)一的量化標(biāo)準(zhǔn)。

純度是用來說明氣體質(zhì)量的數(shù)字化表達方法。

氣體純度的獲得有以下兩種方式:

1、直接測定主體成分含量, 由(1) 式求得。

2、測定各項雜質(zhì), 用(2) 式計算求得。

氣體純度的表示方法為:

(1) 用百分?jǐn)?shù)表示, 如99% , 99.5% , 99.99% 等。

(2) 用英文“9”的字頭“N ”表示。如3N、4N、4.8N、5N 等。

氣體的標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)目前有三種不同的表述：

1、溫度273.15K（0℃）、壓強101.325kPa。

1954年第十屆國際計量大會（CGPM）協(xié)議的標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)是：溫度273.15K（0℃），壓強101.325kPa。世界各國科技領(lǐng)域廣泛采用這一標(biāo)態(tài)。SH3005-1999《石油化工自動化儀表選型設(shè)計規(guī)范》采用的也是這一標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)。

2、溫度288.15K（15℃），壓強101.325kPa。

國際標(biāo)準(zhǔn)化組織和美國國家標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定以溫度288.15K（15℃），壓強101.325kPa作為計量氣體體積流量的標(biāo)態(tài)。

3、溫度293.15K（20℃），壓強101.325kPa。

GB/T21446-2008 《用標(biāo)準(zhǔn)孔板流量計測量天i然氣流量》、SY/T6143-2004《天i然氣流量的標(biāo)準(zhǔn)孔板計量方法》采用的是這一標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)。

高純氬氣：用于焊接、不銹鋼制造、冶煉，還用于半導(dǎo)體制造工藝中的化學(xué)氣相淀積、晶體生長、熱氧化、外延、擴散、多晶硅、鎢化、離子注入、載流、燒結(jié)等。用作標(biāo)準(zhǔn)氣、平衡氣、零點氣等。氮氣的化學(xué)性質(zhì)不活潑，常溫下很難跟其他物質(zhì)發(fā)生反應(yīng)，但在高溫、高能量條件下可與某些物質(zhì)發(fā)生化學(xué)變化，用來制取對人類有用的新物質(zhì)。


高純氣體一般都可直接作零點氣體使用，其理由是檢測儀的零點幾乎就是濃度零點，以及高純氣體中雜質(zhì)的含量。而在作零點氣體使用時，如果特定組分古量在一定值以下，且不舍干擾成分，即使?jié)舛炔荒敲锤?，此種氣體往往也完全能作零點氣體使用。常用的零點氣體多為氮氣或精制空氣，所以有的書也叫零級空氣。 高純氣體是純度有保證的氣體。它的主組分含量必須大于某一定值，其雜質(zhì)組分的含量必須小于某一定值。