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電池片的制作工藝
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PECVD
PE 目的
在硅片表面沉積一層氮化硅減反射膜,以增加入射在硅片上的光的透射,減少反射,氫原子攙雜在氮化硅中附加了氫的鈍化作用。
其化學(xué)反應(yīng)可以簡單寫成 : SiH 4 NH 3 =SiN:H 3H 2 。
基本 原理
PECVD 技術(shù)原理是利用低溫等離子體作能量源,樣品置于低氣壓下輝光放電的陰極上,利用輝光放電(或另加發(fā)熱體)使樣品升溫到預(yù)定的溫度,然后通入適量的反應(yīng)氣體,氣體經(jīng)一系列化學(xué)反應(yīng)和等離子體反應(yīng),在樣品表面形成固態(tài)薄膜。 PECVD 方法區(qū)別于其它 CVD 方法的特點在于等離子體中含有大量高能量的電子,它們可以提供化學(xué)氣相沉積過程所需的激活能。電子與氣相分子的碰撞可以促進氣體分子的分解、化合、激發(fā)和電離過程,生成活性很高的各種化學(xué)基團,因而顯著降低 CVD 薄膜沉積的溫度范圍,使得原來需要在高溫下才能進行的 CVD 過程得以在低溫下實現(xiàn)。
基本特征
1. 薄膜沉積工藝的低溫化( < 450 ℃ )。
2. 節(jié)省能源,降低成本。
3. 提高產(chǎn)能。
4. 減少了高溫導(dǎo)致的硅片中少子壽命衰減。
擴散方式
PE 設(shè)備有兩類:平板式和管式。
按反應(yīng)方式分為:直接式(島津)和間接式( Roth & Rau )。
直接式:基片位于一個電極上,直接接觸等離子體。
間接式:基片不接觸激發(fā)電極。 在微波激發(fā)等離子的設(shè)備里,等離子產(chǎn)生在反應(yīng)腔之外,然后由石英管導(dǎo)入反應(yīng)腔中。在這種設(shè)備里微波只激發(fā) NH3 ,而 SiH4 直接進入反應(yīng)腔。間接 PECVD 的沉積速率比直接的要高很多,這對大規(guī)模生產(chǎn)尤其重要。
電池片常見異常情況處理方法
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電池片普遍異常現(xiàn)象解決方式
堵網(wǎng):
1、生產(chǎn)車間溫度、環(huán)境濕度與料漿特性緣故:若溫度高、空氣濕度低,料漿蒸發(fā)有機溶劑就迅速揮發(fā)掉,料漿黏度變大,進而堵網(wǎng)。留意:停止時間太長,會造成堵網(wǎng),時間越久越比較嚴(yán)重。次之,工作溫度低,料漿流通性差也非常容易堵網(wǎng),因此嚴(yán)控生產(chǎn)車間溫度與環(huán)境濕度;
2、網(wǎng)版:用收醇擦整潔并干躁側(cè)后方能應(yīng)用。若置放時間太久不立即包裝印刷,在儲存過程中就會黏附灰塵;
3、包裝印刷工作壓力:包裝印刷工作壓力過大,會使刮條彎折,刮條與網(wǎng)版和基鋼板并不是線觸碰,而成面接觸,每一次包裝印刷都不可以將料漿刮整潔而留有殘留料漿,時間長了就會堵網(wǎng);
4、包裝印刷空隙有問題:很小也非常容易堵網(wǎng);
5、料漿緣故:料漿顆粒物大,要保證充裕的拌和時間。
電池片絲網(wǎng)印刷技術(shù)
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4.3
漿料
漿料是由作用組份、粘接組份和有機化學(xué)質(zhì)粒載體構(gòu)成的一種流體力學(xué),漿料有導(dǎo)體漿料、電阻器漿料、物質(zhì)漿料和包管漿料等。在背銀,背鋁及正銀工藝流程中常用漿料為導(dǎo)體漿料。在導(dǎo)體漿料中,作用組份一般為貴重金屬或貴重金屬的化合物。質(zhì)粒載體是高聚物在有機化學(xué)
有機溶劑
中的水溶液。作用組份決策了破乳后的電氣性能物理性能。質(zhì)粒載體決策了厚膜的加工工藝特性,是印刷膜和干躁膜的臨時性粘接劑。作用組份和粘接組份一般為粉狀,在質(zhì)粒載體中開展充足拌和和分散化后產(chǎn)生膏狀的厚膜漿料。煅燒后的厚膜導(dǎo)體是由金屬材料與粘接組份構(gòu)成。
漿料的技術(shù)性性能參數(shù)就是指漿料中作用成份(背銀漿料中的銀鋁成份、正銀漿料中的銀成份,背漿料中的鋁成份)歷經(jīng)風(fēng)干和煅燒后與電池片的歐母特性,其危害電池片的電性能參數(shù)如開路電壓,短路容量,并聯(lián)電阻,串連電阻器,轉(zhuǎn)化率等性能指標(biāo);漿料的加工工藝特性是做到所述指標(biāo)值的確保,各漿料制造生產(chǎn)商對于
3
種印刷工藝流程有強烈推薦的加工工藝主要參數(shù)如漿料的粒度分布、粘度,固態(tài)物含量,金屬絲網(wǎng)的篩網(wǎng)目數(shù);前邊提及網(wǎng)格圖的孔長為漿料粉體設(shè)備粒度的
2.5
~
5
倍;漿料的黏度危害刮刀條的印刷速率;固態(tài)物含量決策印刷后的濕薄厚經(jīng)風(fēng)干和煅燒后的后薄厚。背鋁及正銀三工藝流程的漿料不一樣,從而決策她們在金屬絲網(wǎng)和印刷主要參數(shù)各不相同,表
2
為英國
FERRO
企業(yè)的常有有關(guān)工藝流程的印刷漿料的特性。