凈化車間是為了滿足半導體制造工藝需求的潔凈室，該無塵車間對環(huán)境潔凈度、溫濕度控制等都有一定的要求。相對于其他工業(yè)潔凈室，集成電路制造無塵車間有面積大、潔凈等級高、溫濕度控制精度高等特點。

根據(jù)潔凈室車間空氣循環(huán)特點可以將潔凈室分為三種類型：循環(huán)空調機配合送風口系統(tǒng)、循環(huán)風機配合濕式密封系統(tǒng)和FFU循環(huán)系統(tǒng)。

集成電路制造對無塵車間環(huán)境的控制有較為嚴格的要求。不同的工藝制程對潔凈度的要求也各不相同，例如光刻要求在1級的微環(huán)境下，而化學機械研磨則只要求1000級的環(huán)境即可?？諝膺^濾技術多用于通風及空調進氣系統(tǒng)中，凈化大氣中的粉塵顆粒，使進入室內空氣更為干凈，利用空氣過濾器能捕集亞微米粒子。另外，集成電路制造潔凈廠房對噪聲、微振、照度等都有相關的規(guī)定和要求，尤其是振動的控制，在潔凈室的建筑結構設計上就要有所要求。

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設計人員在設計時應充分考慮潔凈室的特點，嚴格控制防火分區(qū)，使之達到規(guī)范要求，我國現(xiàn)行消防技術規(guī)范已對潔凈室防火分區(qū)提出了明確的要求，規(guī)定甲、乙類生產(chǎn)的潔凈室宜為單層，其防火分區(qū)很大允許建筑面積，單層廠房宜為3000平方米，多層廠房宜為2000平方米；丙、丁、戊類生產(chǎn)的潔凈室其防火分區(qū)很大允許建筑面積應符合現(xiàn)行《建筑設計防火規(guī)范》的規(guī)定。除此以外，我們還應特別注意潔凈室的頂棚和壁板、潔凈生產(chǎn)區(qū)與一般生產(chǎn)區(qū)間的隔斷以及技術豎井等部位的防火處理，要求其必須采用不燃燒體材料，且耐火極限要達到相應技術規(guī)范的要求。高水平的安徽潔凈車間凈化生產(chǎn)工藝對潔凈室的生產(chǎn)環(huán)境要求非常嚴格。

其次，應清潔電子工廠潔凈室的人員清潔工作?？諝饬茉￠g應安裝在潔凈室的入口。單人空氣淋浴間應由較多人數(shù)的30人建立?？諝饬茉￠g的進出不得同時進行。打開時，應選擇聯(lián)鎖控制措施。如穿有外套和攜帶有個人物品，應先脫掉外套、取出個人物品放入一更更衣柜。如果是潔凈室中設備和物料的出入口，則應獨立設置，還應設置貨物淋浴間。如果物料或產(chǎn)品的轉移需要在不同級別的潔凈室中進行，則應建立轉移窗口。