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潔凈室是指對空氣潔凈度、溫度、濕度、壓力、噪聲等參數(shù)根據(jù)需要都進行控制的密閉性較好的空間。潔凈室的發(fā)展與現(xiàn)代工業(yè)、技術密切聯(lián)系在一起。應盡量限制和減少室內(nèi)污染源散發(fā)的塵和菌的擴散,維持室內(nèi)生產(chǎn)環(huán)境所要求的空氣潔凈度等級。由于精密機械工業(yè)(如陀螺儀、微型軸承等加工)、半導體工業(yè)(如大規(guī)模集成電路生產(chǎn))等對環(huán)境的要求,促進了潔凈室技術的發(fā)展。國內(nèi)曾統(tǒng)計過,在無潔凈級別的要求的環(huán)境下生產(chǎn)MOS電路管芯的合格率僅10%~15%,64為儲存器僅2%。目前在精密機械、半導體、宇航、原子能等工業(yè)中應用潔凈室已相當普遍。
潔凈室工藝標準
潔凈室要達到潔凈等級,必須有綜合措施,其中包括工藝布置、建筑平面、建筑構造、建筑裝修、人員和物料凈化、空氣潔凈措施、維護管理等。其中空氣潔凈措施是實現(xiàn)潔凈等級的根本保證。就空氣潔凈而言,主要有以下幾項具體措施:
(1)對潔凈室的送風必須是有很高潔凈度的空氣。因此,必須選用過濾器(潔凈級別低時)作為終端過濾器,對進入潔凈室的空氣,進行一級過濾。為保護終端過濾器和延長其壽命,必須使空氣先經(jīng)中效過濾器進行過濾。
從而可滿足潔凈室內(nèi)的潔凈度和延長過濾器使用時間。施工中應重點控制管道加工、管道施工和設備安裝質量。潔凈室必須具備的條件靜壓差:潔凈室維持一定的正壓是保證潔凈室不受或少受污染、以維持設計潔凈度等級必不可少地條件之一。潔凈手術室采用鋁合金噴塑天花板送風裝置送風,其送風裝置尺寸分別應不少于百級2.4*2.6,萬級1.4*2.6。在電子工業(yè)中的微電子產(chǎn)品或一些電子器件產(chǎn)品生產(chǎn)中需要一個房間或一條生產(chǎn)線,甚至數(shù)條生產(chǎn)線的主要工序均需設置在嚴于5級的潔凈室內(nèi),才能達到產(chǎn)品生產(chǎn)的要求。