近年來, 受半導(dǎo)體制造、液晶注入、太陽能電池生產(chǎn)、電子器件等新興行業(yè)和薄膜制備、化工、制藥等傳統(tǒng)行業(yè)的帶動, 多級羅茨干泵作為核心裝備之一, 其研制和生產(chǎn)越來越受到重視。應(yīng)用范圍根據(jù)設(shè)計，SOGEVAC泵可用來抽空穩(wěn)定氣體，其工作范圍為從大氣壓到泵極限真空之間的粗真空范圍。多級羅茨干泵滿足了IC 裝備制造業(yè)的工作溫度高、長期運轉(zhuǎn)穩(wěn)定、噪聲低、維護簡單、清潔無油等眾多要求, 是很有發(fā)展前景的一種干式真空泵。但是, 除了加工及裝配要求精度高、加工難度大、一次性投入昂貴等制約因素外, 其設(shè)計理論和制造工藝亟待提高, 尤其包括羅茨型線的改善、加工成本的降低、間隙的確定、泄漏量的計算、泵內(nèi)的熱力學(xué)分析、轉(zhuǎn)子表面涂層、噪聲振動等難點問題, 制約了多級羅茨干泵研制和生產(chǎn)。

萊寶真空泵維修故障類別，提議把故障分成運行故障和特性故障。LEYBOLDOPTICSCCS系列（50至160對/8小時）視客戶要求而定，可使用LEYBOLDOPTICSCCS系列鍍膜機生產(chǎn)一或若干層（減反射層、防曬或鏡面層以及濾光片）。運行故障可包含泵不轉(zhuǎn)，泵溫太高，漏油，漏水，溫度報警，氮氣報警，時間報警等，電流報警等。特性故障可包含極限壓力、極限全壓力、抽氣效率、噪音、噴油、氣鎮(zhèn)特性等不合格或不可以符合要求。

 故障判斷與診斷例舉，泵不轉(zhuǎn)。情況不明不能先開泵，以免加重故障。用手是否能轉(zhuǎn)動，如果能轉(zhuǎn)動，就泵體是沒卡死。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對ya有一定的抽速，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較好的真空度。泵能盤動而不轉(zhuǎn)。原因可以是聯(lián)軸器故障；電機接線有誤；電機損壞；電源沒電等。不能轉(zhuǎn)動或轉(zhuǎn)起來很重的，原因可能是因為起動時泵溫度太低，泵油粘度太高。或許是附生成物過多停機之后所導(dǎo)致，或許是旋片有變形導(dǎo)致等，油位太高引起的停泵返油太多(加油太多，或有水汽在泵中凝結(jié)，或在排氣管中凝結(jié)的水流回泵中)有異物在泵內(nèi)(進氣管中的焊渣、氧化物；旋片彈簧等泵零件的碎屑；旋片變形卡?。话l(fā)生了咬合(銅套、轉(zhuǎn)子、中壁、泵蓋、定子、軸承)。

羅茨真空泵定期檢查項目：

1、每日檢查：

a）油位檢查：油量過多，使溫度升高，油量過少，造成潤滑不良。

b）電動機負(fù)荷檢查：用功率表或電流，電壓表測量電動機負(fù)荷。

c）溫度檢查：用溫度計檢查泵各部位溫度。

2、羅茨真空泵每月檢查：

聯(lián)軸器及墊片是否損壞和松動。

3、羅茨真空泵每3個月檢查項目：

齒輪箱內(nèi)潤滑油是否變質(zhì)。

4、羅茨真空泵每6個月檢查項目：

a）前蓋軸承箱內(nèi)潤滑油是否變質(zhì)。

b）齒輪微量程度的磨損對轉(zhuǎn)子正常運轉(zhuǎn)是否產(chǎn)生影響，是否需要調(diào)整。

c）活塞環(huán)及活塞環(huán)襯套是否有磨損。