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批量生產(chǎn)前沒有做好前置化驗(yàn),沒做顯影點(diǎn)測試,則可能因?yàn)闇囟冗^低,顯影液濃度不夠,或者速度過快而造成顯影不凈。
顯影壓力不夠,顯影槽噴嘴噴液壓力不夠也可以使得顯影不徹底。
如果顯影完全了,但僅僅是有膜殘留,則需要檢查水洗段噴管是否堵塞,從而造成壓力不夠,水洗不完全。
菲林顏色過淺,底片深色遮蓋部分被zhi微弱紫外線照射,發(fā)生過微弱的聚合反應(yīng)。
正膠顯影:正性光刻i膠的曝光區(qū)的光刻膠在顯影液中溶解,在光刻膠上形成三維圖形。
負(fù)膠顯影:在負(fù)性光刻膠的非曝光區(qū)的光刻膠在顯影液中溶解,在光刻膠上形成三維圖形。
正膠具有很好的對比度,所以生成的圖形具有良好的分辨率,其他特性如,臺(tái)階覆蓋好、對比度好;粘附性差、抗刻蝕能力差、高成本。
負(fù)膠的特性為,具有良好的粘附能力和阻擋作用、感光速度快;顯影時(shí)發(fā)生變形和膨脹,所以只能用于2μm的分辨率。