凈化工程位置應(yīng)該如何選擇？一、應(yīng)在大氣含塵濃度較低，自然環(huán)境較好的區(qū)域。二、應(yīng)遠(yuǎn)離鐵路、碼頭、飛機(jī)場(chǎng)、交通要道以及散發(fā)大量粉塵和有害氣體的工廠、貯倉(cāng)、堆場(chǎng)等有嚴(yán)重空氣污染、振動(dòng)或噪聲干擾的區(qū)域。如不能遠(yuǎn)離嚴(yán)重空氣污染源時(shí)，則應(yīng)位于其頻率風(fēng)向上風(fēng)側(cè)，或全年小頻率風(fēng)向下風(fēng)側(cè)。三、應(yīng)布置在廠區(qū)內(nèi)環(huán)境清潔、ren流貨流不穿越或少穿越的地段。

無(wú)塵室內(nèi)該如何防止微粒子污染呢？應(yīng)遵守下列基本原則：若能徹底實(shí)施“不攜入”技術(shù)，無(wú)塵室內(nèi)的潔凈度就可以維持。但現(xiàn)實(shí)中人和物品的頻繁出入及制造機(jī)臺(tái)的掣動(dòng)，在廣大的無(wú)塵室內(nèi)要有完全潔凈度是不可能的。因此“不儲(chǔ)備”技術(shù)快速地在過(guò)濾器中應(yīng)用以除去已發(fā)生的微粒子變得非常重要。通常已發(fā)生的微粒子會(huì)依據(jù)重力及靜電吸附力而停留在周邊的物體表面。突發(fā)性的振動(dòng)及不穩(wěn)定的氣流會(huì)使這些累積微粒在空氣中再度揚(yáng)起，增加了重大微粒子污染的危險(xiǎn)性。


什么是凈化室?潔凈室是指將必定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物掃除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振蕩及照明、靜電操控在某一需求范圍內(nèi)，而所給予格外規(guī)劃之房間。亦便是不管外在之空氣條件怎么改變，其室內(nèi)均能俱有保持原先所設(shè)定請(qǐng)求之潔凈度、溫濕度及壓力等功用之特性。潔凈室主要之效果在于操控商品（如硅芯片等）所觸摸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使商品能在一個(gè)杰出之環(huán)境空間中出產(chǎn)、制作，此空間咱們稱(chēng)之為潔凈室。


凈化工程潔凈室的溫濕度主要是根據(jù)您的加工技術(shù)請(qǐng)求來(lái)斷定，在滿意加工技術(shù)的條件下，必選應(yīng)當(dāng)思考人的舒適感。隨著空氣潔凈度請(qǐng)求的進(jìn)步，技術(shù)對(duì)溫濕度的請(qǐng)求也越來(lái)越高，有必要到達(dá)必定的溫濕度等級(jí)。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光技術(shù)中，作為掩膜板資料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差請(qǐng)求越來(lái)越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就導(dǎo)致了0.24um線性膨脹，所以有必要有±0.1度的恒溫，一起請(qǐng)求濕度值通常較低，因?yàn)槿顺龊菇窈?，?duì)商品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車(chē)間，這種車(chē)間不宜超越25度。