利用新納米技術(shù)開發(fā)的功能金屬氧化物薄膜材料（Functional Thin-Film metal-Oxides Materials，具有優(yōu)良的電磁傳導(dǎo)、物理化學(xué)和機(jī)械性能，可廣泛應(yīng)用于節(jié)能照明、顯示電子、化合物檢測(cè)、柔性透明和氣體傳感等領(lǐng)域，具有開啟后硅基半導(dǎo)體電子新時(shí)代的巨大潛力。簡單地說，在真空中把金屬、合金或化合物進(jìn)行蒸發(fā)或?yàn)R射，使其在被涂覆的物體（稱基板、基片或基體）上凝固并沉積的方法，也就是我們俗稱的真空鍍膜。歐盟第七研發(fā)框架計(jì)劃（FP7）提供980萬歐元資助，總研發(fā)投入1340萬歐元，由歐盟8個(gè)成員國德國（總協(xié)調(diào)）、英國、意大利、比利時(shí)、荷蘭、葡萄牙、希臘和斯洛文尼亞，微納米電子工業(yè)界聯(lián)合科技界組成的歐盟微納米電子技術(shù)平臺(tái)（ORAMA ETP）。在建立緊密合作型研發(fā)創(chuàng)新公私伙伴關(guān)系（PPP）的同時(shí)，將長期致力于功能金屬氧化物薄膜材料的研制開發(fā)及商業(yè)化推廣應(yīng)用。　

真空磁控陰極濺射法：平板玻璃在具有高真空的真空腔體內(nèi)，處在負(fù)電壓的兩極間的工作氣體正離子在正交電磁場(chǎng)的作用下飛向陰極，在很短的陰極位降區(qū)內(nèi)獲得很大的能量去迅速轟擊靶材，從而使陰極(靶材)原子飛向玻璃基片--玻璃沉積膜層，濺射出的二次電子(此過程稱γ過程)在電磁場(chǎng)作用下按旋輪線運(yùn)動(dòng)參與碰撞電離，蟹衍載流子，這樣就能源源不斷地轟擊陰極，提供足夠數(shù)量的正離子，形成的等離子區(qū)使持續(xù)輝光放電，其可以一次完成多層鍍膜，有著的膜層均勻性，的邊緣復(fù)蓋和良好的附著力。BOPET、BOPA薄膜基材鍍鋁前不需進(jìn)行表面處理，可直接進(jìn)行蒸鍍。鍍膜有著優(yōu)于和區(qū)別于其它真空磁控濺射鍍膜機(jī)的地方是：它的平面磁控靶上的磁場(chǎng)是由環(huán)形磁鐵產(chǎn)生的，可將半園環(huán)形磁鐵看成是無限T微扇柱狀磁鐵的組合 。所以，其相應(yīng)點(diǎn)磁標(biāo)勢(shì)較穩(wěn)定，才能生產(chǎn)出均勻牢固的鍍膜層。

真空鍍膜加工清除鍍膜室內(nèi)的灰塵，設(shè)置清潔度高的工 作間，保持室內(nèi)高度清潔是鍍膜工藝對(duì)環(huán)境的基本要求。這種鍍膜玻璃的色澤單調(diào)、透光率大，大面積玻璃膜層不均勻，不適宜作幕墻玻璃?？諝鉂穸却蟮牡貐^(qū)，除鍍前要對(duì)基片、真空室內(nèi)各部 件認(rèn)真清洗外，還要進(jìn)行烘烤除氣。要防止油帶入真空室內(nèi)，注意油擴(kuò)散泵返油，對(duì)加熱功率高的擴(kuò)散泵必須 采取擋油措施。

真空鍍膜加工表面的清潔處理非常重要，直接影響到電鍍的產(chǎn)品品質(zhì)。加工件進(jìn)入鍍膜室前一定要做到認(rèn)真的鍍前清潔處理，表面污染來自工件在加工、傳輸、包裝過程所粘附的各種粉塵、潤滑油、 機(jī)油、拋光膏、油脂、汗?jié)n等物，

鐵氧體磁性材料及稀土永磁：高導(dǎo)磁軟磁鐵氧體小磁芯體積小、性能高、用量大；這些產(chǎn)品的表面必須采用Parylene來涂上一層保護(hù)層，以增強(qiáng)產(chǎn)品表面的絕緣性、堅(jiān)固性、光滑性。這種涂層是傳統(tǒng)的還氧噴涂所無法達(dá)到的；稀土永磁產(chǎn)品在汽車、音箱、磁療、電機(jī)等領(lǐng)域的運(yùn)用越來越廣泛。真空鍍膜加工對(duì)于高度不穩(wěn)定的、對(duì)水蒸氣敏感的表面，一般應(yīng)貯存在真空干燥箱中。但是這類產(chǎn)品表面的耐腐蝕要求非常高。普通的電鍍、電泳處理的后的產(chǎn)品的耐鹽霧時(shí)間僅能達(dá)到70-100小時(shí)。而采用Parylene可以達(dá)到300-500小時(shí)。其耐腐蝕時(shí)間是前者的4-5倍。磁性材料（絕緣、防銹、防線傷、填補(bǔ)穩(wěn)定特性制作）。