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佛山市錦城鍍膜有限公司以耐高溫車輛燈具注塑 鍍膜為主的專業(yè)生產(chǎn)廠家,公司秉承“以質(zhì)取勝,求真務(wù)實(shí),顧客至上”理念,歡迎廣大客戶光臨了解,我們將為你的產(chǎn)品錦上添花.
物理l氣相沉積(真空鍍膜)基本方法 :
1、從沉積粒子能量(中性原子)來看,真空蒸鍍?yōu)?.1-1eV,濺射為1-10eV,離子鍍?yōu)?.1-1eV(此外還有高能中性原子)。
2、從沉積速率來看,真空蒸鍍?yōu)?.1-70μm/min,濺射為0.01-0.05μm/min(磁控濺射接近于真空蒸鍍),離子鍍?yōu)?.1-50μm/min。
利用電阻加熱器加熱蒸發(fā)的優(yōu)點(diǎn):鍍膜機(jī)構(gòu)造簡(jiǎn)單,造價(jià)便宜、使用可靠,可用于熔點(diǎn)不太高的材料的蒸發(fā)鍍膜,尤其適用于對(duì)膜層質(zhì)量要求不太高的大批量的生產(chǎn)中。電阻加熱方式的缺點(diǎn)是:加熱所能達(dá)到的z高溫度有限,加熱器的壽命也較短。鍍膜工藝流程中工藝參數(shù)的控制和對(duì)膜層沉積的影響:靶基距:靶基距是影響成膜速率的重要因素之一,隨著靶基距增加,被濺射材料射向基片時(shí)與氣體分子碰撞的次數(shù)增多,同時(shí)等離子體密度也減弱,動(dòng)能減少,沉積速率降低,但膜層外觀較好。近年來,為了提高加熱器的壽命,國內(nèi)外已采用壽命較長(zhǎng)的氮化硼合成的導(dǎo)電陶瓷材料作為加熱器。
電子束蒸發(fā)源蒸鍍法
將蒸發(fā)材料放入水冷銅坩鍋中,直接利用電子束加熱,使蒸發(fā)材料氣化蒸發(fā)后凝結(jié)在基板表面成膜,是真空蒸發(fā)鍍膜技術(shù)中的一種重要的加熱方法和發(fā)展方向。電子束蒸發(fā)克服了一般電阻加熱蒸發(fā)的許多缺點(diǎn),特別適合制作熔點(diǎn)薄膜材料和高純薄膜材料。
光學(xué)薄膜應(yīng)用反應(yīng)磁控濺射技術(shù)已有多年,中頻閉合場(chǎng)非平衡磁控濺射技術(shù)也已在光學(xué)薄膜(如增透膜)、低輻射玻璃和透明導(dǎo)電玻璃等方面得到應(yīng)用。特別是透明導(dǎo)電玻璃目前廣泛應(yīng)用于平板顯示器件、太陽能電池、微波與射頻屏蔽裝置與器件、傳感器等。