真空泵油的光滑性摩擦面的磨擦磨損、外表疲倦磨損以及腐蝕磨損等，都與光滑條件有關(guān)。表現(xiàn)佳的真空泵油有利于抑止腐蝕磨損；能夠有效地減輕粘著磨損和外表疲倦磨損；流體光滑劑對(duì)摩擦面具有清洗作用，也可減輕磨擦磨損。摩擦熱的大小與光滑狀態(tài)有關(guān)，粘度高的熱量大，粘度低的熱量小，而邊境摩擦的熱量則介于兩者之間。由此可見，用適宜粘度的真空泵油不只能夠完成液體光滑，減少摩擦熱的產(chǎn)生，而且還能夠?qū)⒛Σ翢峒皶r(shí)地帶出泵體外。