真空泵油的作用：

1、密封：防止大氣進(jìn)入排氣閥，有相對運動零件間的間隙密封（轉(zhuǎn)子與定子、旋片與轉(zhuǎn)子槽等）。

2、潤滑：相對運動件間的潤滑，降低磨損。

3、冷卻：油在泵內(nèi)與油箱間循環(huán)，散熱、冷卻。

4、攜裹：將磨損產(chǎn)生的塵粒或其它顆粒挾裹在油中，減小磨損傷害。

5、保護(hù)：形成保護(hù)性油膜，避免水及化學(xué)蒸汽凝結(jié)物腐蝕泵內(nèi)部件。

擴(kuò)散泵油的性質(zhì)對擴(kuò)散泵的抽氣性能影響特別大，因而對擴(kuò)散泵油的基本要求是：

1）泵油的分子量要大；

2）為了降低泵的極限壓力，要求泵油在常溫下得飽和蒸汽壓要低；

3）為了使泵能在較高的出口壓力下工作，要求泵油在沸騰溫度下得飽和蒸汽壓應(yīng)盡可能大；

4）泵油的熱穩(wěn)定性（高溫下不易分解）和抗l氧化性能（與大氣接觸時不會因氧化改變泵油的性能）要好；凝固點和低溫黏度要低；而且還要無l毒、耐腐蝕、成本低。

真空泵油的飽和蒸汽壓：飽和蒸汽壓是真空泵油較關(guān)鍵的指標(biāo)之一。在恒溫的密閉容器中，當(dāng)汽液兩相到達(dá)動態(tài)均衡時的壓力稱謂飽和蒸汽壓。

泵油對極限壓力的影響

泵油的種類和成分對泵的極限壓力影響很大，在結(jié)構(gòu)相同的擴(kuò)散泵中，如果使用3號擴(kuò)散泵油，其極限壓力只能達(dá)到10-5帕；而改用275號硅油，其極限壓力能達(dá)到10-7帕，極限壓力可降低兩個數(shù)量級。

真空系統(tǒng)中被抽氣體的分壓力也隨泵油的不同而變化，這就是泵油成分所帶來的影響。例如，油擴(kuò)散泵抽氣系統(tǒng)中不加特殊措施很難獲得較清潔的真空。