選擇真空泵注意事項：

1、真空泵排出來的油蒸氣對環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染，可以選無油真空泵，或者把油蒸氣排到室外。

2、真空泵的工作壓強應該滿足真空設備的極限真空及工作壓強要求。如：某真空干燥工藝要求10mmHg的工作真空度，選用的真空泵的極限真空度至少要2mmHg，能達到1mmHg。通常選擇泵的極限真空度要高于真空設備工作真空度半個到一個數(shù)量級。

選真空泵注意事項

1. 使用環(huán)境是無塵車間，盡量選擇無油泵，或者真空泵放置在室外。

2 真空泵排除的油蒸汽對環(huán)境的影響。如果環(huán)境不允許有污染，可以選無油真空泵，或者把油蒸汽排到室外。

3. 真空泵極限真空度應該滿足真空設備的極限真空及工作壓強要求。通常選擇泵的極限真空度要高于真空設備工作真空度半個到一個數(shù)量級。

4. 要知道客戶腔體容積，使用的真空度，要求抽真空泵的時間，有這些參數(shù)我們可以計算使用多大抽數(shù)的真空泵，再結合上面的選型要求，選擇合適的真空泵。

在粉塵較多的真空工藝如何選擇真空泵，才能讓真空泵既能夠滿足工藝要求，同時又能夠長期穩(wěn)定的運行，延長真空泵維修維保時間，節(jié)約運行成本，保證生產設備的生產效率，保證設備產能。

在CVD、PECVD、ALD等工藝中，真空腔體會通入各種各樣的工藝氣體來完成產品表面薄膜工藝，這些工藝氣體在反應過程中有時會大量粉塵或容易結晶，如果粉塵和結晶物不能及時排除真空泵外，就容易在真空泵內沉積，堆積到一定量時就會造成真空泵葉輪、轉子等卡滯，需要及時下機保養(yǎng)和維護，否則的話就會造成真空泵的更大的損壞，但是干式泵的維護成本又比較昂貴，選擇一臺耐粉塵，維保周期長的真空泵是非常重要的。

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