氦質譜檢漏儀的選擇

選擇氦質譜檢漏儀時主要考慮以下問題：

（1）儀器的功能能滿足檢漏的要求。如有些儀器沒有逆流檢漏功能，就不適合吸槍法檢漏；有些儀器沒有報廢漏率的設置功能，不宜作為批量產品篩選檢漏用；流水線上要求一定的檢漏速度，此時應選擇有多工位的檢漏儀。

（2）儀器的靈敏度能滿足檢漏的要求。國內外生產的不同類型的氦質譜檢漏儀的靈敏度是不一樣的，如果檢漏要求的靈敏度較高，就要認真選擇。

（3）被檢件如果害怕油的污染，就應選擇無油真空系統(tǒng)的檢漏儀。

（4）被檢件容積如果較大，必須選用預抽泵抽速大的檢漏儀，否則就要外加預抽泵。

（5）如果被檢對象不固定，體積時大時小，靈敏度要求時高時低，就要選擇功能較全、靈敏度較高、檢漏范圍寬的檢漏儀。

（6）如果檢漏地點不固定，需要經常搬運儀器時，就要選擇小型便攜式儀器。

（7）在滿足上述檢漏基本要求的基礎上，還要綜合考慮儀器的價格是否低、操作是否簡易、維修是否方便等方面的問題。

氦質譜檢漏儀的檢漏方法

中科鼎新真空科技（濟南）有限公司——專業(yè)氦質譜檢漏儀供應商，我們?yōu)槟鷰硪韵滦畔ⅰ?

?正壓法

又稱吸槍檢漏，將吸槍接在儀器檢漏口上，被檢件充入規(guī)定壓力的氦氣（純氦氣或一定比例氦氮混合氣）。檢漏時，吸槍沿可能泄漏處慢慢移動，被檢件有漏孔，氦氣自漏孔漏出，被吸槍吸入至儀器的質譜系統(tǒng)而被檢測出。因為空氣中含有5ppm的氦氣，正壓法檢漏靈敏度相對負壓法要低。氦質譜檢漏儀中用得比較多的是90°和180°的磁偏轉型質譜儀。

氦質譜檢漏儀的應用

氦質譜檢漏儀行業(yè)應用氦質譜檢漏儀的應用已從科學院、大專院校、實驗室及少數科研機構走向工礦企業(yè)，甚至鄉(xiāng)鎮(zhèn)企業(yè)、個體企業(yè)，可以說應用領域極其寬廣。

航空航天高科技工業(yè)

（1）例如火箭發(fā)動機及姿態(tài)發(fā)動機，過去是打壓刷肥皂水檢漏，現(xiàn)在重新改進工藝用氦質譜檢漏儀檢漏，采用正壓吸槍與氦罩法結合，使檢漏靈敏度大大提高，從而保證了發(fā)動機質量?；鸺w的檢漏采用正壓吸槍、氦罩法、累集法等幾種方法的結合。由于檢漏技術的應用，提高了檢漏靈敏度，彌補了吸入法檢漏時儀器靈敏度低的不足。（3）電力行業(yè)中，電廠的檢漏、高壓變壓器、高壓電容器、高壓開關管及其它元器件也都相應的采用氦質譜檢譜檢漏儀，用不同方法進行檢漏。

（2）KM6空間環(huán)模裝置設備龐大，主真空室直徑12m、高22m，另外有輔助真空室和載人艙等。容積3500m3，分系統(tǒng)多，結構復雜，各種接口焊縫相加有幾千米長，采用氦質譜檢漏儀負壓檢漏，每條焊縫由檢漏盒密封，配以鋪助抽氣系統(tǒng)將盒內抽低真空后，充入一定壓力氦氣，關閉預抽閥，開啟檢漏閥。由于盒內氦濃度較高，相對檢漏儀又有一定壓力，因此有效提高了檢漏靈敏度。氦質譜檢測儀——示漏氣體的選擇選擇示漏氣體的原則是：它在空氣中及真空系統(tǒng)中的含量低。

（3）航天工業(yè)中，各類閥門、電子元器件，傳感器等等都在廣泛應用氦質譜檢漏儀及其檢漏技術。

電力行業(yè)

SF6高壓開關和氧化鋅避雷器是發(fā)電廠及野外輸變電的重要組成部分，往往因泄漏造成大面積或局部停電，影響工業(yè)生產，又妨礙人們的正常生活。因此帶來的經濟損失有時是難以估量的。

（1）高壓開關在連箱是鋁鑄件，往往容易有砂眼，且漏孔結構復雜，不易清洗。一般采用檢漏盒或氦罩法，即把被檢件抽真空，然后向罩內充入氦氣，等待一定時間，確定總漏率的大小。因氦氣的用量小，檢測靈敏度就高。

（2）氧化鋅避雷器，是根據電壓高低要求，采用不同截面積、不同厚度和不同數量的氧化鋅片，裝在瓷套中，充入氮氣后密封。其工作原理是在高壓輸出中如遇雷擊，氧化鋅片電阻變小，大電流對地短路，輸電線路被保護。管板等焊縫較多或檢測面積較大時，可將該部分用塑料薄膜完全罩住并用膠帶封住，以使泄漏的氦氣進入罩中如圖2所示。如果泄漏造成內外沒有壓差，外部潮濕氣體有可能進入，而破壞氧化鋅片特性。

（3）電力行業(yè)中，電廠的檢漏、高壓變壓器、高壓電容器、高壓開關管及其它元器件也都相應的采用氦質譜檢譜檢漏儀，用不同方法進行檢漏。