氦質譜檢漏儀

不僅耗能耗時，還會直接影響真空工藝條件，造成產品不合格等重大生產質量問題。究其原因是由于真空系統(tǒng)設備存在泄漏所致，所以真空系統(tǒng)設備的真空系統(tǒng)需要進行檢漏。對于由各個組件組成的真空系統(tǒng)，各個組件本身存在的一些工藝瑕疵都會直接影響到系統(tǒng)的固有漏率

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年泄漏率大的標準漏孔，更是要注意，經常校準。如果發(fā)現(xiàn)異常，要用外置漏孔校準。注意使用的環(huán)境。標準漏孔的生產、檢測，都是在20-25℃的室溫下進行。尤其有些標準漏孔，對溫度特別敏感。溫度每變化1℃，標準漏孔的漏率就有3%以上的誤差。例如，夏天，室溫達到30℃，這種標準漏孔的漏率誤差增加30%。

氦較除氫以外的其他氣體通過同一漏孔的漏率就大，容易發(fā)現(xiàn)，靈敏度高。氦是惰性氣體，不與被檢件器壁起化學反應，不會污染被檢件，使用安全。在氦兩側的是氫（質荷比為2）和雙電荷原子碳（質荷比為6），質荷比都與氦相差較大。這樣，它們在分析器中的偏轉半徑相差也大，容易分開，定標找氦峰時，不易受其他離子的干擾

能為不同的應用提供廣泛的測試方法，含有渦輪分子泵、內置機械泵、外置機械泵、光譜、儀管、閥組、檢漏儀電子元件和操作頁面，以及可選功能組件。氦質譜檢漏儀在許多領域里得到廣泛的應用,例如,在航空航天領域里宇宙飛船、航天飛機、火箭、、飛機等這些都要用到真空檢漏技術