氦質(zhì)譜檢漏儀

因此所有的真空部件在出廠時(shí)都要測試泄漏率指標(biāo)。通常情況下，真空部件的泄漏檢測都是應(yīng)用氦質(zhì)譜檢漏，檢漏時(shí)構(gòu)造一個(gè)臨時(shí)的密閉空間，利用氦質(zhì)譜檢漏儀抽空后噴氦查找漏點(diǎn)（泄漏指標(biāo)異常處）。氦質(zhì)譜檢漏儀操作簡單，響應(yīng)快，精度高，將真空波紋管一端連接到氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏口上，另一端連接到氣瓶夾層

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氦質(zhì)譜檢漏儀是借鑒了國外的先進(jìn)檢漏技術(shù)以及多年質(zhì)譜生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)設(shè)計(jì)而成。氦質(zhì)譜檢漏儀的關(guān)鍵部件均采用進(jìn)口部件，性能穩(wěn)定可靠。氦質(zhì)譜檢漏儀不但靈敏度高，并且操作方便，能夠進(jìn)行雙燈絲自動(dòng)切換、系統(tǒng)自動(dòng)調(diào)零、自動(dòng)校準(zhǔn)及自動(dòng)量程切換，目前已經(jīng)達(dá)到水平。

氦質(zhì)譜測漏儀的準(zhǔn)確性

氦質(zhì)譜測漏儀應(yīng)用廣泛，隨著科技的進(jìn)步，對科研器材要求更加嚴(yán)格；生產(chǎn)工藝的改進(jìn)，對產(chǎn)線的性能要求更高；以及化工企業(yè)，管路的嚴(yán)密性好壞直接關(guān)系安全；電廠的管路嚴(yán)密，直接關(guān)系到節(jié)約多少能源等等。所有這些，都需要使用氦質(zhì)譜檢漏儀來完成檢測任務(wù)。保證標(biāo)準(zhǔn)漏孔的準(zhǔn)確，就是保證氦質(zhì)譜檢漏儀檢測結(jié)果的準(zhǔn)確性。

氦在空氣中及真空系統(tǒng)殘余氣體中的含量（在空氣中約含5.2ppm），在材料出氣中也很少，因此本底壓力小，輸出的本底電流也小。正因?yàn)楸镜仔?，由某些原因引起本底的波?dòng)，亦即本底噪聲也就小，因此微小漏率也就能反應(yīng)出來，靈敏度高。氦的質(zhì)量小（相對分子質(zhì)量為4），易于穿過漏孔。