進口真空泵維修

是采用自主研發(fā)的真空泵，它低速轉(zhuǎn)動連續(xù)排氣，真空度可達到１０-1Pa，它可稱為是劃時代的真空泵。實現(xiàn)了極限真空度的全球泵浦轉(zhuǎn)速.從吸氣起到排氣采用非接觸單段壓縮，其特點是可以地排除空氣或煤氣中所含有的粉塵霧粒，廣泛用于半導(dǎo)體，液晶，太陽能電池，，化工等真空行業(yè)。單級結(jié)構(gòu)簡單，易于保養(yǎng)和維修，在排除凝聚性氣體，腐蝕性氣體和反應(yīng)生成物的半導(dǎo)體工藝中以及在硅單晶制造的抽真空等領(lǐng)域也發(fā)揮著威力。單級結(jié)構(gòu)簡單，易于保養(yǎng)和維修，在排除凝聚性氣體，腐蝕性氣體和反應(yīng)生成物的半導(dǎo)體工藝中以及在硅單晶制造的抽真空等領(lǐng)域也發(fā)揮著威力。

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在連接進氣口管路時，管道通徑應(yīng)盡可能與泵的進出口通徑*，以保證通導(dǎo)；如進排氣口管道過小、過長、由于管阻過大則整個系統(tǒng)會抽速下降，被抽容器真空度也必然受影響；泵啟動前應(yīng)接通冷卻水，進出水口用內(nèi)徑Φ10增強尼龍管。應(yīng)保證管道無漏水現(xiàn)象，冷卻水進水溫度要求低于35℃;進水壓力不低于0.1Mpa；進口真空泵維修出口油霧過濾器為標準配置，真空泵油循環(huán)使用，無油煙，清潔、環(huán)保、省油。

若反方向旋轉(zhuǎn)時,可把相電源中任意二相接頭對換一下 即可。否則,旋片真空泵不起抽氣作用反而會把真空泵油和大氣打入被抽系統(tǒng),造成嚴重污染。工作結(jié)束后 . 應(yīng)先關(guān)高真空閥,后關(guān)低真空閥 . 再停旋片真空泵,然后對其放氣 (如使用電磁真空帶 放氣閥,可以自動放氣 ) 以防止油返回到真空系統(tǒng),后切斷總電源 . 停水。需要通冷卻水的機械真空泵 . 在開機前應(yīng)先通冷卻水, 然后再啟動。 冷卻水的出口水溫不宜超過30度。進口真空泵維修真空泵經(jīng)過長期工作后出現(xiàn)故障一般是這幾點：真空泵真空度不足，真空泵運行溫度過高，真空泵運行聲音大，更換真空泵易損件之后對真空泵進行清洗組裝，達到保養(yǎng)真空泵的目的。