Parylene的真空氣相沉積工藝

Parylene的真空氣相沉積工藝不僅和微電子集成電路制作工藝相似，而且所制備的Parylene涂層介電常數(shù)也低，還能用微電子加工工藝進行刻蝕制圖，進行再金屬化，因此Parylene不僅可用作防護材料，而且也能作為結構層中的介電材料和掩膜材料使用，經(jīng)Parylene涂敷過的集成電路芯片，其25um細直徑連接線，連接強度可提高5-10倍。 Parylene能在0.2um厚時就完全沒有，5um時就能耐1000V以上直流擊穿電壓，又是摩擦系數(shù)很低的一種自潤滑材料，化學惰性和阻隔性能也好，因此在微電子機械系統(tǒng)中，除了作電介質(zhì)材料外，還用作微型傳動機構和微型閥門的結構材料和防護材料。

釹鐵硼稀土磁性材料是一種問世不久的新型強磁材料

　　 釹鐵硼稀土磁性材料是一種問世不久的新型強磁材料。近年來在小型馬達、汽車電子，工具、揚聲器、電力工具等方面應用發(fā)展很快。但釹鐵硼稀土磁性材料弱點是容易被空氣中的水分及氧氣所腐蝕，因此必須有一個安全可靠的防護涂層釹鐵硼稀土磁性材料才有使用價值。目前國內(nèi)常用兩種方法進行防護，一種是傳統(tǒng)的電鍍工藝在 鐵硼磁性材料表面鍍上鎳、鋅或錫、金等。這些涂層有時會影響磁性材料的表磁等特性，有的在鹽霧試驗時仍不能對釹鐵硼磁性材料提供有效的防護。另一種方法是用環(huán)氧樹脂材料進行電泳涂敷，但電泳涂敷時工件表面必須有一掛點，掛點的修補不僅費工費時，而且質(zhì)量難以保證。 Parylene真空氣相沉積可控制涂層厚度進行無支點全涂敷防護。Parylene又是一種透氧、透水汽率非常低的高分子薄膜材料，因此TDK等公司在九十年代初就開發(fā)了Parylene涂敷稀土磁性材料的技術和產(chǎn)品，目前國外小型釹鐵硼稀土磁性材料都已采用Parylene進行防護。

Parylene涂層和熱膨脹系數(shù)有什么區(qū)別?

Parylene的用量非常小，這樣涂層和基材之間的熱膨脹系數(shù)就不會有很大差別,幾乎不存在任何膨脹/收縮及變形等. 傳統(tǒng)的噴涂、浸漬或刷涂的液體涂層可能會適用于某些線圈繞組，但是這些材料有許多隱患。例如，固化液體涂層的厚度取決于它們?nèi)軇┑臐舛?，彎月面和表面張力也會將涂層從尖銳的棱角邊緣劃落下來，在未完全固化前就聚集在角落里。液體涂敷的平均固化厚度一般在0.005至0.010英寸之間。在平整表面，涂層厚度可能需要有0.005英寸或更厚，只有這樣外部角落里、尖銳棱角和邊緣處的液體涂層的厚度才能達到0.001尺寸。有些時候，基材與涂層的熱膨脹系數(shù)會有所不同，導致在溫度變化周期內(nèi)產(chǎn)生機械應力。涂層越厚或溫度越高，這樣情況就會越嚴重。

       由于納米防水涂層材料的自清潔表面作用，在電子產(chǎn)品行業(yè)的應用廣泛。基于超疏水原理的自清潔表面由于其獨特的表面微觀結構和優(yōu)異的超疏水性能，使液體難以在其表面附著。

       納米防水涂層是一種無色透明，不燃燒的防潮防濕防腐蝕的液態(tài)產(chǎn)品。韌達納米能根據(jù)產(chǎn)品不同使用不同濃度的涂料，zui普通使用的涂層厚度能達到0.5nm-1.0μm左右?？捎行Ы档头雷o組件表面能，使沉積在防護組件表面的水滴接觸角趨于zui大值，呈現(xiàn)出較強的超疏水性能。簡單來說就好像荷葉的表面，具有疏水、不吸水的表面，落在上面的液體會因表面張力的作用形成水珠。由于其高透光性，也不會影響到光學鏡頭的清晰度。