真空鍍膜機(jī)的真空室設(shè)計(jì)方法

真空鍍膜技術(shù)是在真空條件下采用物理或者化學(xué)方法，使物體表面獲取所需膜體，真空鍍膜技術(shù)根據(jù)其采用方法的不同科分成蒸發(fā)鍍、濺射鍍、離子鍍、束流沉積以及分子束外延等，這次分析的鍍膜設(shè)備采用的是磁控濺射鍍膜。

真空室是真空設(shè)備的一個(gè)主要組成部位，真空鍍膜設(shè)備真空室設(shè)計(jì)主要考慮的就是密封性和可靠性，結(jié)構(gòu)必須要合理，真空設(shè)備的材料生產(chǎn)都是在真空室內(nèi)進(jìn)行的，材料對(duì)真空度的影響要小，設(shè)計(jì)不能馬虎，要注意一些問題。

使用磁控濺射的真空鍍膜機(jī)一般采用的是圓筒主體結(jié)構(gòu)，結(jié)構(gòu)上要保證快速抽空，因氣袋會(huì)緩慢的放氣，因此要避免出現(xiàn)隔離孔穴，真空系統(tǒng)上端會(huì)加裝磁控濺射槍，為了使真空室和元件有足夠的強(qiáng)度，保證在外部和內(nèi)部的作用力下不產(chǎn)生形狀的變化，厚度需要足夠。

焊接是真空室制造中的一道關(guān)鍵工序，保證焊接之后的真空室不會(huì)產(chǎn)生漏氣現(xiàn)象，須合理設(shè)計(jì)焊接結(jié)構(gòu)，提高焊接質(zhì)量，處在超高真空的內(nèi)壁粗糙度要拋光使室外室內(nèi)表面很光潔，須特別注意的是需做好防止生銹的措施。

真空鍍膜機(jī)蒸發(fā)與磁控濺射鍍鋁性能

真空鍍膜機(jī)電子束蒸發(fā)與磁控濺射鍍鋁性能分析研究，為了獲得性能良好的半導(dǎo)體電極Al膜，我們通過(guò)優(yōu)化工藝參數(shù)，制備了一系列性能優(yōu)越的Al薄膜。通過(guò)理論計(jì)算和性能測(cè)試，分析比較了真空鍍膜設(shè)備電子束蒸發(fā)與磁控濺射兩種方法制備Al膜的特點(diǎn)。

嚴(yán)格控制發(fā)Al膜的厚度是十分重要的，因?yàn)锳l膜的厚度將直接影響Al膜的其它性能，從而影響半導(dǎo)體器件的可靠性。對(duì)于高反壓功率管來(lái)說(shuō)，它的工作電壓高，電流大，沒有一定厚度的金屬膜會(huì)造成成單位面積Al膜上電流密度過(guò)高，易燒毀。對(duì)于一般的半導(dǎo)體器件，Al層偏薄，則膜的連續(xù)性較差，呈島狀或網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，引起壓焊引線困難，造成不易壓焊或壓焊不牢，從而影響成品率;Al層過(guò)厚，引起光刻時(shí)圖形看不清，造成腐蝕困難而且易產(chǎn)生邊緣腐蝕和“連條”現(xiàn)象。

采用真空鍍膜機(jī)電子束蒸發(fā)，行星機(jī)構(gòu)在沉積薄膜時(shí)均勻轉(zhuǎn)動(dòng)，各個(gè)基片在沉積Al膜時(shí)的幾率均等;行星機(jī)構(gòu)的聚焦點(diǎn)在坩堝蒸發(fā)源處，各個(gè)基片在一定真空度下沉積速率幾乎相等。采用真空鍍膜機(jī)磁控濺射鍍膜方法，由于沉積電流和靶電壓可以控制，也即是濺射功率可以調(diào)節(jié)并控制，因此膜厚的可控性和重復(fù)性較好，并且可在較大表面上獲得厚度均勻的膜層。

附著力反映了Al膜與基片之間的相互作用力，也是保證器件經(jīng)久耐用的重要因素。真空鍍膜設(shè)備濺射原子能量比蒸發(fā)原子能量高1-2個(gè)數(shù)量級(jí)。真空鍍膜機(jī)高能量的濺射原子沉積在基片上進(jìn)行的能量轉(zhuǎn)換比蒸發(fā)原子高得多，產(chǎn)生較高的熱能，部分高能量的濺射原子產(chǎn)生不同程度的注入現(xiàn)象，在基片上形成一層濺射原子與基片原了相互溶合的偽擴(kuò)散層，而且，在真空鍍膜設(shè)備成膜過(guò)程中基片始終在等離子區(qū)中被清洗，清除了附著力不強(qiáng)的濺射原子，凈化基片表面，增強(qiáng)了濺射原子與基片的附著力，因而濺射Al膜與基片的附著力較高。

真空鍍膜機(jī)使用前要檢查什么

1、主機(jī)齒輪箱、牽引減速箱應(yīng)該時(shí)常加油，更換齒輪油。

2、新機(jī)請(qǐng)?jiān)谑褂?0天左右更換新齒輪油，以確保各轉(zhuǎn)動(dòng)部位正常運(yùn)轉(zhuǎn)。

3、注意加油，防止卡住和過(guò)熱損壞。

4、還應(yīng)檢查各連接部位的固緊情況，防止羅栓松動(dòng)。

5、泡管中的壓縮空氣應(yīng)保持適量。

6、啟動(dòng)主電機(jī)時(shí)，應(yīng)先啟動(dòng)電機(jī)后慢慢加速；關(guān)閉主電機(jī)，應(yīng)先減速后再關(guān)機(jī)。

至成真空科技有限至成真空科技，在安裝車燈鍍膜機(jī)的時(shí)候應(yīng)該注意調(diào)整好擠出機(jī)機(jī)頭中心線和牽引輥中心保持水平垂直，收卷時(shí)由于收卷外徑逐漸增大車燈鍍膜機(jī)請(qǐng)注意牽引速度與收卷速度的配合，請(qǐng)及時(shí)調(diào)整。主機(jī)開啟后，密切注意主機(jī)運(yùn)行情況。

真空鍍膜機(jī)漏氣檢修

真空電鍍?cè)O(shè)備漏氣問題我們應(yīng)該如何進(jìn)行檢修呢？真空電鍍?cè)O(shè)備漏氣對(duì)于設(shè)備本身是有大的影響的，因此我們要及時(shí)的進(jìn)行檢修維護(hù)。

1、要測(cè)試好真空室內(nèi)氣體密封性能的比例，確保氣密性能夠符合要求。

2、然后檢查真空鍍膜漏孔大小、形狀和漏氣速度，分析出解決方案并且可以實(shí)施。

3、要確認(rèn)真空電鍍漏氣是真漏還是虛漏，因?yàn)樵诠ぜ牧霞訜嶂髸?huì)在不同程度上產(chǎn)生一定的氣體，有時(shí)候會(huì)誤以為是從外部流進(jìn)的氣體，這就是虛漏，我們要排除這種情況。

4、確定檢測(cè)儀器小的檢漏率和撿漏靈敏性，以大范圍檢測(cè)出漏氣的情況，避免一些漏孔被忽略，提高檢漏的準(zhǔn)確性。

5、后還要避免真空電鍍漏孔的堵塞，有時(shí)候因?yàn)椴僮魇д`，真空電鍍?cè)趽炻┲?，?huì)有一些灰塵或液體等把漏孔給堵塞了，以為在那位置沒有漏孔，但當(dāng)這些堵塞物由于內(nèi)外的壓強(qiáng)差異提高或會(huì)使漏孔不堵了，但是漏氣還是會(huì)存在的。