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室內(nèi)面積達24m2,其工作潔凈度達1000級
室內(nèi)面積達24m2 ,其工作潔凈度達1000 級,在局部2m2 的光刻工藝區(qū)、凈化工作臺以及凈化涂膠機,工作潔凈度達100 級。室內(nèi)用于顯影及清洗器件的高純水,是由設(shè)在室外的潔凈水循環(huán)系統(tǒng)引入,該系統(tǒng)以去離子水為原水,經(jīng)精密過濾、紫外線殺菌及離子交換,極大提高了水質(zhì)純度,其輸出水質(zhì)電阻率≥15MΩ。在工作人員健康保障方面,超凈室設(shè)有空調(diào)、凈化排風(fēng)系統(tǒng)。涂膠臺及電鍍腐蝕工作臺設(shè)置了獨立的對外排風(fēng)系統(tǒng),從而也降低了環(huán)境污染??照{(diào)系統(tǒng)保障了室內(nèi)濕度≤60 % ,工作溫度保持18 ℃—25 ℃。室內(nèi)循環(huán)凈化送風(fēng)系統(tǒng)以及光刻工作區(qū)層流罩循環(huán)凈化系統(tǒng)為室內(nèi)潔凈度提供了保障。
工程施工中材料是先到頂板,后到墻板。
工程施工中,材料是先到頂板,后到墻板。但是,施工起頭基本都是從立墻板開始,然后跟著吊頂板。所以,導(dǎo)致了施工材料需求和材料供給之間的矛盾。二、三樓有許多板材都是立到樓板大梁底部,由于搬運及吊頂上部布滿管線管道,所以板材都切割使用??梢杂喌蹴敻叨鹊陌宀?,然后各房間之間可以用鐵皮封堵。而門洞預(yù)留的時候未考慮直流平水泥及PVC地板的厚度,導(dǎo)致潔凈室鋼質(zhì)門安裝后門底部與地坪摩擦。
100級潔凈間的氣流形式
100級潔凈間的氣流形式是層流方式,空氣以均勻的斷面速度沿同一水平方向流動,與流體力學(xué)的層流概念不太相同,垂直方向?qū)恿鞑⑶覀?cè)回風(fēng)。和百級以上潔凈間絮流方式(即空氣以不均勻的速度呈不平行流線流動)相比較,它具有效果完全、運轉(zhuǎn)迅速穩(wěn)定、使得空氣的塵埃粒子含量少,控制管理方便容易等優(yōu)點,但是設(shè)備價格高令一些中小廠家難以承受,維護費用也很高。
應(yīng)與設(shè)計方做好技術(shù)交底工作
做好技術(shù)交底開始需要有一個初步設(shè)計方案,只是大致規(guī)定了要達到的目標、所使用的設(shè)備等。而下一步,還要進行深度設(shè)計,具體到氣流類型、換風(fēng)次數(shù)、新風(fēng)量、回風(fēng)口的位置、新風(fēng)口的位置等。若凈化工程公司只負責(zé)施工,那么應(yīng)與設(shè)計方做好技術(shù)交底工作,了解每一個細節(jié),這樣工程會更順利,也不容易出差錯。要使用防止靜電(是一種處于靜止狀態(tài)的電荷)的材料,要根據(jù)企業(yè)預(yù)算選擇適宜的材料,但防靜電是基礎(chǔ)。