流量器安裝使用注意事項(xiàng)

前置直管段

1）熱分布式 本類儀表對(duì)上下游配管布置不敏感，通常認(rèn)為無(wú)上下游直管段長(zhǎng)度要求。國(guó)際標(biāo)草案ISO/DIS 11451認(rèn)為流量測(cè)量不受旋轉(zhuǎn)流和流速場(chǎng)剖面畸變影響。然而BS 7405卻認(rèn)為；①上下游直管段長(zhǎng)度可小至2D；②在進(jìn)口端置一金屬（或塑料）網(wǎng)，可有效地改善流速分布畸變，得到分布均勻的氣流；對(duì)于三氯化硼等強(qiáng)腐蝕性氣體和MOCVD使用的金屬氧化物氣體建議采用金屬密封的MFC。③要防止從小管徑突然擴(kuò)大進(jìn)入較大口徑儀表，要緩慢過(guò)渡。

2）浸入式 帶測(cè)量管的浸入式流量傳感器和插入式儀表需要一定長(zhǎng)度前置直管段，ISO/DIS 14511對(duì)此未作具體規(guī)定，而按制造廠建議的值。BS 7405建議對(duì)于在管道中用插入熱絲流速計(jì)時(shí)，需要(8~10)D的上游直管段和(3~5)D的下游直管段。表4列舉Sierra公司對(duì)帶測(cè)量管浸入式TMF所規(guī)定的上直管段長(zhǎng)度；流量控制器內(nèi)有水怎么辦及注意事項(xiàng)一、當(dāng)無(wú)法忍受滲水后不得不購(gòu)買一批新的設(shè)備，現(xiàn)在就不需要使用這種方法了，當(dāng)再有液態(tài)氨進(jìn)入到質(zhì)量流量計(jì)或質(zhì)量流量控制器內(nèi)部時(shí)，只需簡(jiǎn)單地用高壓氨氣沖洗管路后進(jìn)行消毒即可。若在其進(jìn)口端裝一塊或二快多孔板式流動(dòng)調(diào)整器（整流器）后，則其長(zhǎng)度可大為縮短。

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儀表連接管道的振動(dòng)連接TMF的管道在常見實(shí)際范圍內(nèi)的振動(dòng)不會(huì)產(chǎn)生振動(dòng)干擾，在正常情況下不影響儀表的測(cè)量性能。惟插入式TMF的檢測(cè)桿必須牢固地固定于管道，并避免裝在有振動(dòng)的場(chǎng)所。

脈動(dòng)流的影響TMF響應(yīng)時(shí)間長(zhǎng)，不適應(yīng)脈動(dòng)流流量測(cè)量。若作測(cè)脈動(dòng)流測(cè)量，應(yīng)了解TMF的響應(yīng)性，以保證能跟隨的上脈動(dòng)的速度變化。脈動(dòng)引起的測(cè)量誤差通常使儀表輸出偏高，其程度取決于脈動(dòng)幅值和頻率。

什么是流量控制器？

質(zhì)量流量計(jì)，即Mass Flow Meter（縮寫為MFM）, 是一種準(zhǔn)確測(cè)量氣體流量的儀表，其測(cè)量值不因溫度或壓力的波動(dòng)而失準(zhǔn)，不需要溫度壓力補(bǔ)償。

質(zhì)量流量控制器, 即Mass Flow Controller（縮寫為MFC）, 不但具有質(zhì)量流量計(jì)的功能，更重要的是，它能自動(dòng)控制氣體流量，即用戶可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定，MFC自動(dòng)地將流量恒定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動(dòng)或環(huán)境溫度有變化，也不會(huì)使其偏離設(shè)定值。簡(jiǎn)單地說(shuō),質(zhì)量流量控制器就是一個(gè)穩(wěn)流裝置, 是一個(gè)可以手動(dòng)設(shè)定或與計(jì)算機(jī)聯(lián)接自動(dòng)控制的氣體穩(wěn)流裝置。質(zhì)量流量控制器具有體積小,數(shù)字化程度高,安裝方便,測(cè)雖確等優(yōu)點(diǎn)。

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流量控制器的工作壓差范圍是個(gè)什么概念?

質(zhì)量流量控制器(MFC)中設(shè)置有一個(gè)氣體流量調(diào)節(jié)閥門, 閥門能使通過(guò)控制器的流量從零調(diào)節(jié)到測(cè)量的滿量程, 在工作的過(guò)程當(dāng)中, 控制器的入口和出口之間會(huì)產(chǎn)生一個(gè)氣壓降, 即壓差。MFC的工作壓差范圍通常為0.1~0.3MPa, 若壓差低于值(0.1 MPa), 有可能控制達(dá)不到滿量程值; 若高于值(0.3MPa), 有可能關(guān)閉時(shí)流量不能小于2%F.S。用戶使用MFC時(shí), 無(wú)論用戶工作的反應(yīng)室是真空還是高壓, 應(yīng)做到使MFC進(jìn)出氣兩端的壓差保持在所要求壓差范圍之內(nèi), 并且要求氣壓要相對(duì)穩(wěn)定。該殘留物由于顆粒過(guò)重而干擾到氣體作層流運(yùn)動(dòng)并影響測(cè)量精度的幾率很小，但如果那樣的話，須使用清潔設(shè)備。

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