在相對(duì)濕度較高的環(huán)境中，濃縮水形的毛細(xì)管力在顆粒和表面之間形成了連接鍵，可以增加顆粒與硅質(zhì)表面的黏附力。相對(duì)濕度小于50%時(shí)并不重要，但當(dāng)相對(duì)濕度在70%左右時(shí)，就成為顆粒之間黏附的主要力量。 到目前為止，在半導(dǎo)體無塵車間、潔凈室中迫切需要適當(dāng)控制的是光刻膠的敏感性。由于光刻膠對(duì)相對(duì)濕度極為敏感的特性，它對(duì)相對(duì)濕度的控制范圍的要求是嚴(yán)格的水準(zhǔn)。 實(shí)際上，相對(duì)濕度和溫度對(duì)于光刻膠穩(wěn)定性以及的尺寸控制都是很關(guān)鍵的。甚至是在恒溫條件下，光刻膠的粘性將隨著相對(duì)濕度的上升而迅速下降。當(dāng)然，改變粘性，就會(huì)改變由固定組分涂層形成的保護(hù)膜的厚度。相對(duì)濕度的3%的變異將使保護(hù)厚度改變59.2A。 此外，在高的相對(duì)濕度環(huán)境下，由于水分的吸收，使烘烤循環(huán)后光刻膠膨脹加重。光刻膠附著力同樣也可 以受到較高的相對(duì)濕度的影響;較低的相對(duì)濕度(約30%)使光刻膠附著更加容易，甚至不需要聚合改性劑，如六二硅氮烷(HMDS)。

人身凈化路線為了在操作中盡量減少人活動(dòng)產(chǎn)生的污染

人身凈化路線 為了在操作中盡量減少人活動(dòng)產(chǎn)生的污染，人員在進(jìn)入潔凈區(qū)之前，必須更換潔凈服并吹淋、洗澡、消毒。這些措施即“人身凈化”簡(jiǎn)稱“人凈”。 人凈用房中更換潔凈服的房間應(yīng)予送風(fēng)，并對(duì)入口側(cè)等其他房間保持正壓，對(duì)廁所、淋浴保持少許正壓，而廁所、淋浴應(yīng)保持負(fù)壓。 3、物料凈化路線 各種物件在送入潔凈區(qū)前必須經(jīng)過凈化處理，簡(jiǎn)稱“物凈”。 物料凈化路線與人凈路線應(yīng)分開，如果物料與人員只能在同一處進(jìn)入潔凈室，也必須分門而入，物料并先經(jīng)過粗凈化處理。 對(duì)于生產(chǎn)流水線不強(qiáng)的場(chǎng)合在物料路線中間可設(shè)中間庫(kù)。 如果生產(chǎn)流水線很強(qiáng)，則采用直通式物料路線，有時(shí)還需要在直通路線中間設(shè)多次凈化、傳遞設(shè)施。 在系統(tǒng)設(shè)計(jì)上，物凈用房的粗凈化和精凈化階段由于會(huì)吹落很多生微粒，所以相對(duì)潔凈區(qū)應(yīng)保持負(fù)壓或零壓，如果污染危險(xiǎn)性大則對(duì)入口方向也要保持負(fù)壓。

從源頭加強(qiáng)凈化工程設(shè)計(jì)的控制1、凈化車間的規(guī)劃首先要加強(qiáng)對(duì)設(shè)計(jì)單位工程圖紙質(zhì)量的外部監(jiān)督與審查。像工程質(zhì)監(jiān)站監(jiān)督施工質(zhì)量一樣，審查、監(jiān)督設(shè)計(jì)質(zhì)量。這直接關(guān)乎凈化工程公司成本價(jià)格。 2、制訂設(shè)計(jì)獎(jiǎng)懲制度。設(shè)計(jì)圖紙被審查中心確認(rèn)為設(shè)計(jì)的應(yīng)給設(shè)計(jì)單位以特殊榮譽(yù)，對(duì)設(shè)計(jì)人員實(shí)施獎(jiǎng)勵(lì)。 3、制訂“限額設(shè)計(jì)”標(biāo)準(zhǔn)。限額設(shè)計(jì)是工程建設(shè)過程中行之有效的控制方法，也是控制投資規(guī)模的有效措施之一。因此，盡快組織有關(guān)部門，按凈化車間的不同類型和規(guī)模和潔凈度要求，制訂出適宜的限額設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)，作為設(shè)計(jì)部門的“對(duì)照表”是設(shè)計(jì)管理工作中的一項(xiàng)重要任務(wù)。 4、以專業(yè)的技術(shù)工藝以及合理的設(shè)備材料，對(duì)凈化工程進(jìn)行技術(shù)指標(biāo)優(yōu)化，提高凈化工程整體效益。