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發(fā)布時間：2020-07-30 18:59
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分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速，國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用，既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著中國半導(dǎo)體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展，分子泵應(yīng)該是中國真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點。首先，分子泵要從小到大建立完整系列，以滿足不同場合的需要。
國外干泵市場的不斷增長，其主要驅(qū)動來自于半導(dǎo)體行業(yè)、化學(xué)工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展。在日本，半導(dǎo)體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機(jī)械泵，歐美半導(dǎo)體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機(jī)械泵，大大提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。為了滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求，國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復(fù)式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。極限壓力從10Pa～10-2Pa，抽速從20m3/h～500m3/h。
真空泵吸入的如果是腐蝕性氣體，會與油發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，腐蝕泵內(nèi)零件；吸入空氣中往往含有水汽冷凝水，引起真空泵油的乳化并使金屬腐蝕，所以要求具有良好的抗腐蝕和抗乳化性。
主要要求真空泵中不攜帶輕質(zhì)組分，以免影響油品的飽和蒸氣壓。
極限壓力是真空泵油重要的使用性能指標(biāo)以了解在真空極限壓力下真空泵的極限壓力。
某公司的300MW機(jī)組，每臺機(jī)組配備2臺機(jī)械真空泵，其中1臺運(yùn)行，1臺備用。真空泵用于機(jī)組啟動時抽真空，正常運(yùn)行時用于抽出凝汽器中未凝結(jié)的氣體。該泵配備電機(jī)160kW，轉(zhuǎn)速590r/min，額定電流330A，電壓380V，B級絕緣，正常運(yùn)行時電流220～230A。每年夏季，電機(jī)溫度都會超限，加裝臨時冷卻風(fēng)機(jī)，但收效不大。電機(jī)長期高溫運(yùn)行會造成絕緣老化，縮短其使用壽命。對真空泵電機(jī)溫度高的原因分析如下。
過度段真空蒸餾：指體系在第二段真空度蒸餾完畢，需要切換到高真空蒸餾時，因體系內(nèi)殘留溶劑較少，第二段真空度已無法再蒸出溶劑（除非加大蒸汽，但易變質(zhì)或使物料中溶劑殘留較高，一般不這樣操作），此時會開啟羅茨機(jī)組，繼續(xù)將剩下的溶劑蒸出。然而，體系殘留溶劑的蒸發(fā)，會導(dǎo)致真空度比正常的高真空蒸餾體系低很多，混用會造成正常高真空蒸餾體系斷流、沖料及物料互串，且該過度段持續(xù)時間相對較長，不宜讓其他高真空用戶等待。
2、分析
該工段各真空用途持續(xù)時間都較長，且同一時段可能存在多用途工況，因此，需將不同用途的泵分開。
在化工和石油部門的生產(chǎn)中，原料、半成品和成品大多是液體，消防泵而將原料制成半成品和成品，需要經(jīng)過復(fù)雜的工藝過程，泵在這些過程中起到了輸送液體和提供化學(xué)反應(yīng)的壓力流量的作用，此外，在很多裝置中還用泵來調(diào)節(jié)溫度。
在農(nóng)業(yè)生產(chǎn)中，泵是主要的排灌機(jī)械。我國農(nóng)村幅原廣闊，每年農(nóng)村都需要大量的泵，一般來說農(nóng)用泵占泵總產(chǎn)量一半以上。
在礦業(yè)和冶金工業(yè)中，泵也是使用的設(shè)備。礦井需要用泵排水，在選礦、冶煉和軋制過程中，需用泵來供水先等。
在電力部門，站需要核主泵、二級泵、三級泵、熱電廠需要大量的鍋爐給水泵、冷凝水泵、循環(huán)水泵和灰渣泵等。
