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DWS型電容測微儀是電容不接觸式通用性精密測量儀器,它既是測振儀,又是測微儀,既能測量動態(tài)位移,又能測量靜態(tài)位移,具有一般非接觸式儀器所共有的無磨擦,無磨損和無惰性特點外,還具有信噪比大,靈敏度高,零漂小,頻響寬,非線性小,精度穩(wěn)定性好,抗電磁干擾能力強和使用操作方便等優(yōu)點,在科學院、工程院、航天、航空、高等院校、研究所、工廠得到廣泛應用,成為科研、教學和生產(chǎn)中一種不可缺少的測試儀器。在眾多的測量儀器當中,非接觸式測量儀器由于其自身的優(yōu)點,成為微位移測量領域的主流研究方向之一。儀器遠銷國內(nèi)外,收到國內(nèi)外用戶的一致好評。
從加工方法的機理、特點和傳統(tǒng)來分類,精密和超精密加工又可分為傳統(tǒng)加工、非傳統(tǒng)加工和復合加工。傳統(tǒng)加工是指刀具切削加工、固結(jié)磨料和游離磨料的磨削加工;非傳統(tǒng)加工是指利用電能、磁能、聲能、光能、化學能和核能等對材料進行加工和處理;復合加工是采用多種加工方法的復合作用,進行優(yōu)勢互補,相輔相成。在電容微位移測量中,電容位移傳感器對微位移的測量越精準、響應速度越快、非線性越小,整體性能就越好。當前,在制造業(yè)中,占主要地位的仍是傳統(tǒng)加工方法。 在加工精度的量級上,精密加工是指加工精度為1~0.1?μm,表面粗糙度為0.1~0.025μm的加工技術(shù),超精密加工是指加工精度高于0.1?μm,表面粗糙度小于0.025?μm的加工技術(shù)。目前超精密加工已進入納米級精度階段,故出現(xiàn)了納米加工及其相應的技術(shù)。