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公司產(chǎn)品包括石英掩膜版,蘇打掩膜版,以及菲林版。蘇州制版根據(jù)客戶的構(gòu)想、草圖,定制版圖,蘇州制版提供高質(zhì)量掩膜版以及后期的代加工服務(wù)!
濺鍍法(Sputtering):(1)上平行板:裝載濺鍍金屬的靶材;下平行板:作為濺鍍對(duì)象的玻璃基板。(2)將氣(Ar 2 )通入反應(yīng)艙中形成等離子體;離子(Ar )在電場中被加速后沖撞靶材;受沖擊的靶材原子會(huì)沉積在玻璃基板上從而形成薄膜。
掩膜版是對(duì)勻膠鉻版經(jīng)過光繪加工后的產(chǎn)品。勻膠鉻版(光掩膜基版)由玻璃基板、鉻層、氧化鉻層和光刻膠層構(gòu)成的。通過光刻制版工藝,將微米級(jí)和納米級(jí)的精細(xì)圖案刻制于掩膜版基板上從而制作成掩膜版。
光刻掩膜版材質(zhì)可分為石英掩膜版、蘇打掩膜版和其他(包含凸版、菲林)等。其中石英掩膜版和蘇打掩膜版為高校和科研院所光刻時(shí)所常用的光刻掩膜版。
石英掩膜版
使用石英玻璃為基板材料,光學(xué)透過率高,熱膨脹率低,相比蘇打玻璃更為平整和耐磨,使用壽命長,主要用于掩膜版
使用蘇打玻璃作為基板材料,光學(xué)透過率較高,熱膨脹率相對(duì)高于石英玻璃,平整度和耐磨性相對(duì)弱于石英玻璃,主要用于中低精度掩膜版