低溫泵是利用低溫表面冷凝氣體的真空泵，又稱冷凝泵。低溫泵可以獲得抽氣速率大、極限壓力低的清潔真空，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體和集成電路的研究和生產(chǎn)，以及分子束研究、真空鍍膜設(shè)備、真空表面分析儀器、離子注入機(jī)和空間模擬裝置等方面。武漢同燦氣體機(jī)械有限公司歡迎您的致電，在這方面有需要都可以和我們聯(lián)系哦，期待您的來電！

低溫液體泵的故障原因泵的揚(yáng)程或流量不足。⑴電機(jī)轉(zhuǎn)速不足。⑵葉輪或管道淤塞。⑶由于密封氣壓過大，有過量的氣進(jìn)入泵內(nèi)。排除方法⑴增加轉(zhuǎn)速。⑵清洗。⑶調(diào)節(jié)密封氣壓力。吸附材料在低溫下比無吸附材料的泠凝吸附可以得到更低的平衡壓力。低溫泵的工作方式是通過表面吸附而進(jìn)行的，表面積越大對(duì)低溫泵的工作性能越有利。因此，合適的吸附材料必須具有較大的比表面和吸附容量。對(duì)吸附材料進(jìn)行表征的物理量主要有：幾何形狀和顆粒大小分布；表面結(jié)構(gòu)；密度；比表面積；孔徑分布、孔容和平均孔徑大小等。目前研究低溫泵的吸附材料主要是通過以上參數(shù)的表征而進(jìn)行的。