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潔凈室的氣流流型及分類
潔凈室的氣流組織與一般空調(diào)房間的氣流組織相比,有著明顯不同。所謂氣流流型就是對潔凈室內(nèi)空氣的流動形態(tài)和分布進行合理的設(shè)計。潔凈室氣流流型的持點為:應(yīng)考慮避免或減少渦流,減少二次氣流,有利于迅速有效地排除污染物;應(yīng)盡量限制和減少室內(nèi)污染源散發(fā)的塵和菌的擴散,維持室內(nèi)生產(chǎn)環(huán)境所要求的空氣潔凈度等級;兼顧維持室內(nèi)的溫、濕度及工作人員的舒適要求。
潔凈室的氣流流型主要分為三類:非單向流、單向流、混合流。單向流是指沿單一方向呈平行流線,并且橫斷面上風(fēng)速一致的氣流,曾經(jīng)被稱為“層流”等;非單向流是指不符合單向流定義的氣流,曾經(jīng)被稱為“亂流”等;混合流是由單向流和非單向流組合的氣流。
潔凈室是指
對空氣潔凈度、溫度、濕度、壓力、噪聲等參數(shù)根據(jù)需要都進行控制的密閉性較好的空間。潔凈室的發(fā)展與現(xiàn)代工業(yè)、技術(shù)密切聯(lián)系在一起。由于精密機械工業(yè)(如陀螺儀、微型軸承等加工)、半導(dǎo)體工業(yè)(如大規(guī)模集成電路生產(chǎn))等對環(huán)境的要求,促進了潔凈室技術(shù)的發(fā)展。國內(nèi)曾統(tǒng)計過,在無潔凈級別的要求的環(huán)境下生產(chǎn)MOS電路管芯的合格率僅10%~15%,64為儲存器僅2%。目前在精密機械、半導(dǎo)體、宇航、原子能等工業(yè)中應(yīng)用潔凈室已相當(dāng)普遍。
潔凈室的分類
1、按氣流的流動狀態(tài)分
根據(jù)氣流的流動狀態(tài)分,主要有以下三種氣流分布的潔凈室:
(2) 單向流潔凈室:單向流潔凈室氣流的特征是流線平行,以單一方向流動,并且在斷截面上風(fēng)速一致,有垂直單向潔凈室,準垂直單向流,水平單向流潔凈室等。
(3) 矢量潔凈室:在房間的側(cè)上角送風(fēng),采用扇形過濾器,也可以用普通過濾器配扇形送風(fēng)口,在另一側(cè)的下部設(shè)回風(fēng)口,房間的高長比一般在0.5~1之間為宜。這種潔凈室也可以達到5級(100級)潔凈度。
無塵車間施工要求:裝有過濾器的房間,不能有粉塵的作業(yè)。各個相接處的縫隙須密封。施工現(xiàn)場應(yīng)保證良好的通風(fēng)和照明。無塵車間施工要求:縫隙應(yīng)在正面密封。自流平地面處理,厚度2mm。作業(yè)中的發(fā)塵量須隨時清掃。保護好作業(yè)面,避免造成板材缺陷。潔凈度和控制污染的持續(xù)穩(wěn)定性,是檢驗無塵車間質(zhì)量的核心標準,該標準 根據(jù)區(qū)域環(huán)境、潔凈程度等因素,分為若干等級。