被抽氣體的溫度可能過高。解決之道：降低被抽氣體的溫度，或可以加一個相應(yīng)的換熱器。愛發(fā)科VS2401旋片真空泵精修泵內(nèi)的油路不通或者不暢，泵腔內(nèi)沒有保持一定量的油量。解決之道：檢查油路是否暢通，并加同類型的真空泵油。愛發(fā)科VS2401旋片真空泵精修配合的間隙改大。這是長期被抽氣體內(nèi)含有粉塵等，造成旋片和定子之間磨損后的間隙增大。解決之道：檢查間隙是否過大，更換新的零部件。

旋轉(zhuǎn)活塞泵　　旋轉(zhuǎn)活塞泵是一種油封式真空泵。由于旋轉(zhuǎn)活塞泵更經(jīng)用，可靠，國內(nèi)外各種真空爐，干燥設(shè)備涂布，浸液旋轉(zhuǎn)活塞泵是一種旋轉(zhuǎn)活塞泵前級泵，但鑄造重，處理工作量較大，所以國外真空廠都在中國尋找合作伙伴。為了使國產(chǎn)滑閥泵能夠進(jìn)入國際市場，必須進(jìn)一步降低泵的振動噪聲，防止泄漏和提高噴射以及旋轉(zhuǎn)活塞泵長期運行的可靠性。

針對真空泵腐蝕的修復(fù)方法：

徹底清除表面氧化層，用將表面清洗干凈。噴砂、打磨、涂防腐蝕涂層保護(hù)，專業(yè)的安裝方式完工。

愛發(fā)科NRL系列在低溫領(lǐng)域下的均熱化，除PVD工藝外，龍其適用于希望提高流量，縮短非氣時間的重要工藝腔體的排氣。

愛發(fā)科真空泵NRL180A特點：

低噪音、低振動、的耐腐蝕性。

標(biāo)準(zhǔn)零部件采用高硬度并經(jīng)過優(yōu)異的防腐蝕特殊表面處理，降低對府蝕性氣體排氣時泵體內(nèi)部的腐蝕程度。